استفاده صحیح از منعکسکنندههای مادون قرمز برای خشک کردن ویفرها
هنگام خشک کردن ویفرها، تعادل بسیار مهم است. شما به حرارت کافی نیاز دارید تا ویفرها از نظر شیمیایی پایدار بمانند؛ اما اگر حرارت بیش از حد باشد، سطح ویفر دچار تغییر شکل خواهد شد. این کار مانند راه رفتن روی یک طناب ناهموار است.
برای رسیدن به این هدف، از لامپهای مادون قرمز همراه با منعکسکنندههای تخصصی استفاده میکنیم تا انرژی را دقیقاً در جای مناسب هدایت کنیم. امروزه همه درباره «کارخانههای سبز» و بیتأثیری در انتشار کربن صحبت میکنند؛ اما در واقع، همه چیز به یک چیز خلاصه میشود: نباید حرارت را مستقیماً به بدنه دستگاه تحمیل کرد؛ این کار باعث هدر رفت انرژی میشود.
مسیر انتشار حرارت
فکر کنید به یک لامپ خشککن بدون منعکسکننده؛ این لامپ انرژی را در تمام جهات – یعنی ۳۶۰ درجه – پراکنده میکند. این بدان معناست که نیمی از انرژی قبل از رسیدن به هدف، هدر میرود.
به همین دلیل از منعکسکنندههای آلومینیومی با خلوص بالا یا منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. این منعکسکنندهها مانند آینه عمل کرده و تشعشعات اضافی را دوباره به سمت ویفرها هدایت میکنند. وقتی که پرتو حرارتی متمرکزتر شود، تراکم حرارت نیز افزایش مییابد.
نکته مهم این است که چون حرارت متمرکزتر شده، میتوانید توان لامپ را کاهش دهید و باز هم به دمای مورد نظر برسید. انرژی کمتر، کاهش انتشار کربن… ساده است!
انتخاب مواد مناسب
برای اکثر کارهای استاندارد، استفاده از آلومینیوم آنودایز شده کافی است؛ اما اگر از خطوط تولید نیمههادی پیشرفته استفاده میکنید، بهتر است از منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا استفاده کنید. طلا توانایی بهتری در دریافت تشعشعات مادون قرمز دارد و در دماهای بالا نیز اکسید نمیشود. البته هزینه آن بالاتر است، اما بازتاب نور توسط آن بسیار بهتر است.
نکته مهم دیگر این است که باید منحنی منعکسکننده را کاملاً با نقطه کانونی لامپ هماهنگ کنید؛ اگر لامپ چند میلیمتر جابجا شود، نقاط داغی ایجاد خواهد شد. نقاط داغ مشکلات زیادی ایجاد میکنند؛ آنها میتوانند تمام ویفرها را نابود کنند، قبل از اینکه متوجه اتفاق شوید.
حفظ عملکرد دستگاه
هنگام راهاندازی این سیستم، فراموش نکنید که به جریان هوا توجه کنید. این سیستمها بسیار خوب در تمرکز حرارت عمل میکنند؛ اما اگر هوای اطراف لامپ ساکن باقی بماند، خود لامپ نیز میتواند دچار گرمای بیش از حد شود. باید مطمئن شوید که بدنه دستگاه بتواند هوا را جابجا کند.
همچنین، لطفاً دستگاهها را تمیز نگه دارید؛ گرد و غبار دشمن اصلی این سیستمهاست. لایههای گرد و غبار روی منعکسکنندهها باعث کاهش کارایی دستگاه میشود؛ در نتیجه لامپها مجبور میشوند با دمای بالاتری کار کنند. این کار باعث فرسودگی سریعتر لامپها میشود. تمیز کردن مداوم دستگاه، در درازمدت میتواند به شما کمک کند تا هزینهها و مشکلات کمتری داشته باشید.