در سیستمهای خورشیدی با لایههای نازک، فضای کافی برای تغییرات دمایی وجود ندارد. تغییر دمایی ۰.۵ درجه سانتیگراد در حین فرآیند پختن رزیستورها، میتواند باعث تغییر تنشها، تغییر رفتار مواد و کاهش کارایی دستگاه شود. بنابراین، نیاز به چراغ خشککنی وجود دارد که دما را به عنوان یک متغیر قابل کنترل در نظر بگیرد، نه چیزی که بتوان آن را حدس زد.
از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟
ما چراغ خشککنی را با استفاده از منابع تابش مادون قرمز کوتاهامواج ساختیم؛ این منابع بر اساس نحوه جذب نور توسط مواد آلی و لایههای نازک تنظیم شدهاند. این روش باعث گرمایش سریع و یکنواخت میشود؛ در نتیجه، حلالها بدون آسیب به مواد، از آنها خارج میشوند. در سراسر ویفر، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ بنابراین ابعاد مهم مواد پس از فرآیند لیتوگرافی، در محدوده مشخص شده باقی میمانند.
سازگاری با اتاقهای پاک:
مواد مورد استفاده در ساخت این چراغ، مطابق با استانداردهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ هستند؛ همچنین، هیچ گازی از دستگاه خارج نمیشود. طراحی حرارتی این دستگاه نیز به گونهای است که اجازه ورود ذرات به فرآیند را نمیدهد. تکرارپذیری این دستگاه نیز به دلیل کنترل چرخه بسته، بسیار خوب است؛ بنابراین، تغییرات دمایی در هر بار کار، یکسان خواهد بود.
چرا این روش مؤثر است؟
خورشیدیهای با لایههای نازک، دارای محدودیتهای حرارتی زیادی هستند؛ بنابراین، فاصله اجازهداده شده برای تغییرات دمایی بسیار کم است. این چراغ، باعث میشود که دمای فرآیند کنترل شود و دماهای مورد نیاز برای فرآیند، دقیقاً حفظ شوند.
نتایج مثبت این روش:
در نتیجه، بازدهی دستگاه پایدار میشود، مقدار ضایعات کمتر میشود و عملکرد حرارتی دستگاق قابل اعتماد خواهد بود. گرما تنها در جاهایی تولید میشود که مواد آن را جذب میکنند؛ بنابراین، مصرف انرژی کاهش مییابد. قابلیت اطمینان این دستگاه نیز در عملکرد مداوم ثابت شده است؛ دستگاه میتواند بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کند، بدون اینکه بازدهی آن کمتر از ۵٪ شود.
نکات مهم:
ابعاد این دستگاه کوچک است، اما بار حرارتی آن بالاست. بنابراین، باید آن را به سیستمهای خنککننگ موجود متصل کرد؛ چرا که این دستگاه برای حفظ یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد، به خنککاری مناسب نیاز دارد. زمان گرم شدن دستگاه کوتاه است و پس از آن، دستگاه در حالت پایداری کار میکند. با تطبیق این دستگاه با رابطهای ابزارهای مربوطه، فرآیند کاری نیز به خوبی انجام خواهد شد.