در خط تولید، دستگاه شستشو و خشککن درست بین مراحل تمیزکاری و لیتوگرافی قرار دارد. حتی اختلاف دمایی ۰.۵ درجه سانتیگراد نیز میتواند باعث ایجاد آثار ناخواسته روی ویفر شود؛ یا در بدترین حالت، منجر به ذوب شدن فوتورزیست پس از فرآیند خشککردن شود. ما گرمکن کوارتزی خود را به طور ویژه برای این ناحیه طراحی کردهایم؛ جایی که پاسخ حرارتی، سطح تمیزی و قابلیت تکرارپذیری، تأثیر مستقیمی بر کیفیت محصول دارند.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟
هسته این گرمکن، یک فرستنده مادون قرمز کوارتزی با امواج کوتاه است؛ این فرستنده برای کنترل سریع و دقیق دما مناسب است. هدف ما، داشتن یکنواختی حرارتی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین، دمای مورد نیاز بین ۵۰ درجه سانتیگراد تا ۲۵۰ درجه سانتیگراد است و پاسخ حرارتی نیز کمتر از ۲ ثانیه است. سیستم کنترل بسته، از یکنواختی حرارتی جلوگیری میکند؛ بنابراین ساختارهای حساس پس از فرآیندهای شستشو و خشککردن آسیب نمیبینند. بدنه این گرمکن از کوارتز با خلوص بسیار بالا ساخته شده است؛ این کوارتز سازگار با محیطهای تمیز با کلاس ۱ تا ۱۰۰ است. سطح این گرمکن نیز به گونهای طراحی شده که تولید ذرات کمتری رخ دهد؛ همچنین، این گرمکن میتواند ۲۴/۷ بدون هیچ اختلالی کار کند.
چرا این گرمکن برای دستگاه شستشو و خشککن مناسب است؟
در دستگاه شستشو و خشککن، به گرمایی نیاز است که به سرعت و به طور یکنواخت اعمال شود؛ گرمایی که به اندازه کافی باشد تا آب شستشو را از روی ویفر بردارد، بدون اینکه الگوهای روی ویفر از بین بروند یا فوتورزیست آسیب ببیند. این گرمکن، پروفایل دمایی را ثابت نگه میدارد؛ بنابراین فرآیند میتواند بارها و بارها تکرار شود. در نتیجه، زمان فرآیند کوتاهتر میشود، مقدار ضایعات کمتر میشود و مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ این امر به لطف اتصال مؤثر مادون قرمز و جرم حرارتی پایین این گرمکن امکانپذیر است.
نکات مربوط به نصب:
نصب این گرمکن به جهتگیری و فاصله مناسب بین اجزا بستگی دارد. بدنه کوارتزی این گرمکن مقاوم است، اما در صورت تحت فشار مکانیکی، شکننده میشود. باید ولتاژ و کانکتور آن را متناسب با مشخصات دستگاه خود انتخاب کنید؛ همچنین، در صورت قرارگیری در محیطهای پر از امواج الکترومغناطیسی، باید از سیستم محافظتی استفاده کنید. با نصب صحیح و مراقبت مناسب، میتوانید از عمر بیش از ۵٬۰۰۰ ساعته این گرمکن اطمینان داشته باشید؛ با کاهش کمتر از ۵٪ در کیفیت آن.