در مرحله خشک کردن ویفرها پس از فرآیند CMP، وجود نشانههای آبی و تجمع ذرات همچنان باعث کاهش کیفیت محصول میشود. اغلب، عامل اصلی این مشکل، ناپایداری در الگوهای حرارتی در حین خشک کردن است. ما هیترهای مورد استفاده برای خشک کردن ویفرها را به گونهای طراحی کردهایم که این ناپایداریها را از بین ببرند، نه اینکه آنها را تشدید کنند.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟
ما از عناصر مادون قرمز کوتاهامواج در پشت پنجره کوارتزی استفاده میکنیم؛ بنابراین انرژی مستقیماً و به سرعت به ویفر برخورد میکند، بدون اینکه به سطح زیرین ویفر آسیبی برسد. در کل منطقه فعال، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ همچنین، کنترل دقیق دما باعث میشود که انحرافات دما به حداقل برسد. این دستگاه برای اتاقهای تمیز در کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین، مواد و درزبندهای مورد استفاده به گونهای انتخاب شدهاند که ایجاد ذرات در حین فرآیند خشک کردن صفر باشد.
چرا این روش در مرحله خشک کردن پس از CMP مؤثر است؟
کار ساده است: لایههای باقیمانده را به خوبی و سریعاً از روی ویفر پاک کرد، بدون اینکه هیچ باقیماندهای باقی بماند. کنترل دقیق دما باعث میشود که تنش سطحی در هر بار تولید یکسان باشد؛ این امر مستقیماً باعث کاهش نقصها میشود. همچنین، این پایداری در فرآیند تولید فوتورزیست نیز مؤثر است؛ بنابراین، انحرافات ابعادی و ناهمواریهای سطحی کاهش مییابد. این دستگاه همچنین ۲۴/۷ کار میکند، بدون اینکه هیچ مشکلی پیش بیاید؛ این امر باعث میشود که راندمان تولید ثابت بماند و نگهداری دستگاه نیز قابل پیشبینی باشد.
چیزهایی که باید از قبل بدانید:
نصب این دستگاه نیازمند تطبیق مناسب جغرافیای اتاق با ساختار دستگاه، و همچنین تنظیم صحیح رابطه بین سیستمهای خنککننده و تخلیه گازها است. ما نقشههای مربوط به این رابطهها را فراهم میکنیم، اما شما همچنان باید خودتان بررسیهای لازم را انجام دهید. لازم است که قبل از تولید اولین محموله، دستگاه را به آرامی گرم کنید تا به تعادل حرارتی برسد؛ این کار برای دستیابی به یکنواختی در فرآیند تولید ضروری است. پس از آن، دستگاه کنترل دما را در دست میگیرد و از بروز مشکلات جلوگیری میکند.