در فرآیند پخت، حتی تغییر نیم درجهای در دما میتواند باعث تغییرات نانومتری در ابعاد محصول شود و در نتیجه، محصولات خوب به ضایعات تبدیل شوند. نمیتوان به صورت تصادفی کیفیت محصولات را کنترل کرد؛ بلکه باید کنترل حرارتی را با دقت بسیار بالاتری انجام داد. ما سنسور دمایی خود را با توجه به این واقعیت طراحی کردهایم.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد: ما استабیلی دما در محدودهای بین ±۰.۱ درجه سانتیگراد را مهم میدانیم؛ زیرا محدودیتهای لیتوگرافی در همین محدوده قرار دارند. این سنسور با ابزارهای مورد استفاده در فرآیند پخت سازگار است و طوری طراحی شده که هیچ ذرهای تولید نکند؛ بنابراین مانع از کاهش سطح تمیزی محیط میشود. این سنسور ۲۴ ساعته کار میکند و طوری طراحی شده که از توقفات غیرمنتظره جلوگیری کند؛ همچنین، گزارشهایی ارائه میدهد که برای کنترل استاتیستیکی فرآیند ضروری هستند.
چرا این سنسور در شرایط واقعی کاربردی است: در فرآیندهای پخت نرم و سخت، این سنسور کنترل حرارتی را تضمین میکند؛ مواد حلکننده به طور قابل پیشبینی خارج میشوند و پروفایل ماده پخته شده نیز یکنواخت باقی میماند. یکنواختی دمای سطح گرم نیز تضمین میشود؛ در نتیجه، تغییرات در ابعاد محصول کاهش مییابد. این امر منجر به کاهش تعداد تغییرات، کارهای تکراری و عملکرد پایدار تجهیزات میشود. اعداد نشان میدهند که پروفایلهای دمایی پایدار، تعداد کمتری ذره وجود دارد و زمان کارکرد تجهیزات نیز طبق برنامه پیش میرود.
آنچه برای استفاده صحیح از این سنسور لازم است: نصب سنسور باید با جرم حرارتی تجهیزات و فواصل کالیبراسیون مطابقت داشته باشد؛ اگر محل قرارگیری سنسور نادرست باشد، میتواند باعث پنهان شدن تغییرات دمایی شود. باید انتظار داشت که زمان کالیبراسیون کوتاه باشد تا مقادیر دمایی با دمای واقعی ویفر هماهنگ شوند؛ همچنین، کالیبراسیون باید به طور منظم انجام شود تا استابیلی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ شود. اگر این کار به درستی انجام شود، سنسور به منبع اطلاعاتی مورد اعتماد برای کل ماژول پخت تبدیل خواهد شد.