在柔性显示制造线上，产量依赖于热控制。即使是漂移2°C的软烘烤也会影响CD均匀性。过热或过冷的硬烘烤会使光刻胶轮廓不可预测，蚀刻转移变得不整齐。烘干灯不仅仅是一种热源——它必须表现得像一个合适的工艺仪器。
关注内部细节：我们围绕近红外（NIR）构建了烘干灯，配备石英光学元件以实现快速、非接触加热。在照明区域内，晶圆级均匀性保持在±0.1°C，因此每次软烘烤和硬烘烤都获得相同的热预算。该设备设计用于洁净室1–100级：在稳定操作下低挥发性和零颗粒生成。灯具可以24/7运行，输出可预测，并且每批次的重复性保持一致。
为什么这在柔性显示制造厂有效：基板较薄且热敏感。灯具快速升温，同时保持严格控制，从而在不增加堆叠压力的情况下缩短循环时间。光刻胶轮廓保持稳定，这使得叠加保持在规范范围内，蚀刻的关键尺寸控制一致。能耗下降，因为灯具仅加热目标区域，减少重工批次意味着更少的废料。
请注意以下事项。灯具需要干净、稳定的电源和适当的热管理集成点。它与大多数光刻和涂布设备兼容，但必须在安装时确认安装接口和控制信号。计划一次短期调试运行以锁定软烘烤和硬烘烤配方，然后在推向量产之前确认工艺窗口。