用于光刻机的石英玻璃防护罩

为什么石英屏蔽型红外灯在半导体制造过程中如此重要？ 如果你仍然依赖热空气循环来进行半导体加工，那其实只是在等待而已。你必须先让整个腔室内的空气都变热，工件才能开始升温。这个过程既缓慢又繁琐。 而采用红外加热则完全不同。无需等待风扇将热空气吹遍整个腔室，只需将电磁辐射直接照射到基片上即可。这就好比用...