在清洗晶圆时，如何确保安全？
当在化学清洗线中对晶圆进行加热处理时，其实就相当于在玩火——或者至少是在处理那些容易爆炸的蒸汽。普通的红外灯根本无法承受这样的压力，使用它们只会带来灾难性后果。
为了解决这个问题，我们给发热元件加上了特殊的防护层。这样既能防止化学物质接触到热源，又能让热量顺利传递到需要的地方。
关键在于密封性
我们绝不能冒任何风险。我们会用耐化学腐蚀的材料来包裹石英管，并在电极连接处使用密封装置。为什么呢？因为如果有害气体渗入灯体内部，那将引发严重的问题。密封不良不仅仅是技术故障，更是安全隐患。因此，我们必须使用能够抵抗腐蚀性清洁剂的材料。
精确控制温度
这些加热器采用短波红外辐射，因此加热速度极快。这样一来，晶圆就不必在温度波动较大的“危险区域”中停留太长时间。我们花了大量时间来调整功率，以确保晶圆能达到合适的温度，同时不会熔化容器。请注意：务必确保电源电压与灯具的要求完全匹配，否则就会导致灯具过早损坏。
安装与维护
这些加热器可以直接替代现有的清洗模块。不过，它们的体积比普通灯具要大一些。这是为了解决防爆问题所必须付出的代价。在安装之前，请仔细检查机箱的空间是否足够，避免因为空间不足而出现问题。一旦安装完成，就要密切注意那些外部保护层是否有裂纹。一旦发现裂纹，应立即停止使用该灯具。此外，我们还使用了加固型的连接器，因为清洗设备会产生很大的振动。我们可不能让电线松动，从而在充满易挥发化学物质的房间里产生电弧。这不过是常识罢了。