在100级洁净室中实现精准控温（避免污染）
在100级洁净室中工作时，最不希望看到的情况就是加热元件释放出颗粒物，从而污染工作区域。这种情况其实比人们想象的要常见。普通加热器在加热和冷却过程中容易产生碎屑或气体泄漏，这对于那些希望保持工作区清洁的人来说无疑是个大问题。
为了解决这个问题，我们采用了高纯度的熔融石英来制造红外灯管。
为何这种方法有效
关键在于在污染发生之前就将其扼杀在萌芽状态。我们使用的石英管已经去除了所有微小的金属杂质。没有这些杂质，就不会出现过早损坏或表面劣化的情况，从而避免了颗粒物的产生。
最棒的是：由于我们使用的是红外线辐射而非对流方式，因此不需要让空气流动。没有空气流动，自然也就不会有灰尘飘落到工件上，尘埃会停留在原处。
制造工艺的细节
为了确保这些灯管的长期稳定性，我们在灯丝中加入了卤素元素。同时，我们还使用高真空技术来密封所有部件，这样就不必担心会有泄漏现象。
至于连接线，我们通常选择镀金或高品质不锈钢制成的线材。因为连接处的氧化现象往往是导致颗粒物产生的原因。使用这类材料可以大大降低这种风险。
接线也非常简单。它们可以直接插入标准的R7或Sk15插座中。由于连接牢固，即使设备发生振动，连接处也不会松动，因此不必担心电气故障的问题。
需要注意的几点
这些灯管会产生大量的热量。虽然它们能够快速升温，但您必须确保冷却风扇或散热装置能够有效工作。如果工作台的通风不良，热量就会积聚起来，甚至可能损坏设备中的组件。
我们设计的这些灯管可以直接替换现有的灯管。这样就能保持稳定的温度，同时保护晶圆和光学元件不受损害。
一个小贴士：请保持石英管的清洁。如果玻璃表面有指纹，那些油脂会留在上面，进而形成热点。而热点则容易导致石英管破裂。只需简单擦拭一下即可。