DNS 屏幕 晶圆干燥灯

在光刻车间里，那些300毫米的晶圆刚刚从DNS清洗设备中取出，现在正等待着进行光刻胶固化处理。生产线上允许的温度偏差不能超过±0.5摄氏度，而洁净室则要求绝对不能有额外的颗粒存在。如果温度出现哪怕微小的波动，就会导致光刻精度下降，进而影响产品良率。 红外加热的精确度：亚毫米级的均匀性与重复性...