晶圆加热的安全距离

如何让硅片获得更多热量（同时避免能量浪费） 在加热硅片时，我们实际上是在与能量损失作斗争。问题在于：普通的石英灯会将热量向各个方向散发——也就是360度全方位散发。如果没有合适的反射器，一半的能量就会白白流失到机器的机壳中，这显然是浪费。 为了解决这个问题，我们使用了镀金反射器。这样，能量就不会被...