Op het gebied van lithografie zorgt een verschil van 0,5°C in de baktemperatuur er voor dat het profiel van de fotoresist met nanometers verandert. Die kleine veranderingen leiden tot een verlies aan productiekwaliteit. We hebben een infraroodverwarmingslamp met twee buizen ontwikkeld, speciaal voor situaties waarin een precisietemperatuur essentieel is. Deze lamp vult de kloof tussen de standaardthermische apparaten en de preciesheid die je proces vereist. Hierdoor kan de gewenste temperatuur nauwkeurig worden geregeld, precies waar de wafer dat nodig heeft.
Wat belangrijk is onder de motorkap
Het systeem maakt gebruik van twee korte infraroodbuizen met kwartsomhulsels. Deze buizen zorgen voor een snelle respons en stabiele warmteafgifte. De responstijd ligt in de subseconden, zodat de temperatuur gedurende het bakproces nauwkeurig kan worden geregeld. In het verlichte gebied blijft de gelijkmatigheid van de temperatuur op ±0,1°C, en de herhaalbaarheid van de temperatuur blijft consistent tussen verschillende cycli. De lamp is ontworpen voor schone ruimtes van klasse 1–100. De materialen en verbindingen zorgen ervoor dat er nauwelijks deeltjes worden geproduceerd. De uitvoer van de lamp blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met een daling van minder dan 5%. Hierdoor zal het proces niet afwijken tussen onderhoudsintervallen.
Waarom deze lamp geschikt is voor het verwerken van fotoresist
Bij het verwerken van fotoresist is het belangrijk dat de hitte snel wordt geleverd, stabiel blijft en geen restanten achterlaat. Het dubbele-buisontwerp zorgt voor een snelle temperatuurstijging, zodat de bakstappen kunnen worden verkort zonder dat de film wordt beschadigd. Hierdoor kan de controle over de cruciale dimensies beter worden gerealiseerd, zijn er minder herwerkingsstappen nodig en is het mogelijk om de temperatuurpatronen nauwkeurig te bepalen. Bovendien wordt er energie bespaard, omdat de lamp alleen wordt verhit wanneer dit nodig is en snel afkoelt – er is geen verspilling van energie.
Wat je moet voorzien bij installatie en gebruik
Voor de installatie is een aparte, beschermd geïsoleerde stroomvoorziening nodig. Ook moeten de montageafstanden goed worden gecontroleerd, zodat de temperatuur op de juiste plek blijft. De lamp werkt samen met de meeste standaardlithografieapparaten. Echter, het is belangrijk om de integratie op apparaatniveau te controleren, zodat er sprake kan zijn van correcte sensoren en veiligheidsmaatregelen. Een lage luchtvochtigheid bevordert de langdurige stabiliteit van de lamp. In vochtige omgevingen moet er goed worden gelet op de ventilatie, zodat er geen condensvorming optreedt op de kwartsomhulsels.