Bij het gebruik van deze lamp zie je geen waarschuwingslichten als gevolg van thermische afwijkingen. In plaats daarvan zie je fouten die zich uiten in een fout van 0,3 μm in de dikte van de laag die wordt gecreëerd met behulp van fotorezistentie. Ook kan er sprake zijn van vervorming van het pakketje dat de chip bevat, waardoor de hele chip beschadigd raakt. Tijdens het drogen van de chips, tijdens het verhitten van de fotorezistentie en tijdens het afwerken van het pakketje, is de lamp geen gewone warmtebron. Het is eerder een procesinstrument. Als de lamp niet goed functioneert, heeft dat gevolgen voor de kwaliteit en de productiviteit.
Wat belangrijk is achter de schermen
We hebben de TEL-lamp ontworpen als een halogeenlamp voor kortegolflengte-infraroodstraling (SWIR). De lamp heeft een kwartsomhulsel en een reflectoruur die ervoor zorgt dat de temperatuur onder controle blijft. Hierdoor is er een uniformiteit van ±0,1°C over het hele gebied waar de chip wordt verhit. De lamp zorgt ook voor een snelle afkoeling, zodat de cyclustijd nauwkeurig kan worden gemeten. De reproduceerbaarheid van de temperatuur is hoog, zodat de fotorezistentie binnen de vereiste temperatuurbereik blijft. Materialen en afsluitingen die geschikt zijn voor schone ruimtes zorgen ervoor dat er geen deeltjes vrijkomen – dit wordt gemeten in de procesruimte, niet in de lamp zelf. In praktijk betekent dit minder herwerkingswerk, minder afval en betere controle over de kwaliteit van de chips.
Waar de lamp wordt gebruikt
Deze lamp wordt gebruikt in situaties waarbij de processen zeer nauwkeurig moeten worden uitgevoerd: bij het verhitten van fotorezistentie, bij het drogen van chips na het reinigen en bij het afwerken van het pakketje. Bij het verhitten van de fotorezistentie zorgt de lamp voor een uniforme temperatuur, zodat er geen afwijkingen optreden. Bij het drogen van de chips zorgt de lamp voor een snelle en uniforme afkoeling, zodat er geen risico is op hercontaminatie. Bovendien zorgt de lamp voor een goede afwerking van het pakketje, waardoor de productiviteit verbetert zonder dat de betrouwbaarheid wordt aangetast. De lamp kan 24/7 draaien, mits er regelmatig onderhoud wordt uitgevoerd.
De details die er toe doen
De lamp is ontworpen voor gebruik in schone ruimten van klasse 1–100. Echter, er moet zorgvuldig worden omgegaan met de installatie. De spanning, de aansluitingen en de koelprocessen moeten precies kloppen. Als dit niet het geval is, kunnen er hete plekken ontstaan en zal de levensduur van de lamp snel afnemen.
Er is een compromis nodig: een hoge vermogensdichtheid zorgt voor een snellere opwarmtijd, maar dit vereist een nauwkeurige temperatuurregeling om de uniformiteit te behouden. Zie het vervangen van de lamp dan ook als een gepland onderhoudsactie, en niet als een noodsituatie.