Op de lithografieafdeling kan een temperatuurverschil van maar 0,2°C al leiden tot problemen als afwijkingen in de afstand tussen de verschillende lagen op de chip, wat op zijn beurt weer resulteert in lagere productieprestaties. De coatings- en ontwikkelaarsapparaten hebben behoefte aan warmte die snel wordt toegepast, precies op de juiste plek terechtkomt en constant blijft, zodat de chip door alle vereiste behandelingen heen kan gaan. Als de IR-verwarmers niet goed werken, heeft dat gevolgen voor de kwaliteit van het product, extra herstelwerkzaamheden en onverwachte stilstandsperioden.
Wat belangrijk is onder het oppervlak
Deze IR-verwarmers zijn ontworpen om energie uit het nabije infraroodbereik te gebruiken. Hierdoor komt de energie rechtstreeks in de fotoresist terecht. Er is een snelle thermische reactie, en de temperatuurvariatie over de hele chip is slechts ±0,1°C. De temperatuurregulariteit blijft constant, zodat elke batch dezelfde thermische omstandigheden krijgt.
Het kwarts-emitterontwerp zorgt ervoor dat er geen deeltjes worden geproduceerd, waardoor de warmers kunnen worden gebruikt in schone ruimtes van klasse 1–100. De controle is gebaseerd op een gesloten circuit met gekalibreerde sensoren, zodat de temperatuur constant blijft, zonder dat er afwijkingen optreden.
Waarom dit past bij het werkproces
Deze warmers zijn ontworpen voor de vereisten van coatings- en ontwikkelaarsapparaten: ze bereiken snel de gewenste temperatuur, houden deze vast tijdens het proces en koelen vervolgens weer af, zodat de productie niet wordt vertraagd. De parameters voor het zachte en harde bakproces blijven consequent, waardoor de controle over de afstanden tussen de lagen op de chip verbetert en problemen met oneffenheden verminderen.
De energieverbruik neemt af, omdat de energie op vraag wordt geleverd, met minimale verspilling van warmte. De betrouwbaarheid is bewezen in de productie: de apparaten werken 5.000 uur of meer zonder grote problemen, waardoor er minder reserveonderdelen nodig zijn, minder onderhoud nodig is en de kosten per chip lager uitvallen.
Wat je moet controleren
Voor een goede installatie is nauwkeurige optische alignering en een schone, reflecterende ruimte nodig. Als dit niet klopt, kunnen er hotspots en oneffenheden ontstaan.
De warmers werken prima met standaard coatings- en ontwikkelaarsapparaten, maar je moet nog steeds controleren of de integratie goed is – zoals de manier van monteren, de openingen en de bedieningsinterface – in relatie tot je specifieke apparaat en proces. Plan een kort testproces om de instellingen vast te stellen en de uniformiteit te controleren voordat je met de productie begint.