Op de lithografielijn komt die 300 mm grote wafer net uit de DNS-reiniger. Hij wacht nu op het verhitten met fotoresist. De lijn kan geen afwijkingen van ±0,5 °C verdragen, en in de schone ruimte mogen er geen extra deeltjes zijn. Als het thermische profiel zelfs maar iets afwijkt, raak je de controle over de temperatuur kwijt – en daarmee ook de productiecapaciteit.
Nauwkeurigheid van infraroodverwarming: submillimeternauwkeurigheid en herhaalbaarheid
De lamp voor het drogen van de wafer gebruikt korte golflengten infraroodstraling, die is afgestemd op de manier waarop fotoresist zich gedraagt onder invloed van warmte. Hierdoor wordt er een submillimeternauwe temperatuurstabiliteit bereikt over het hele oppervlak van de wafer. Bovendien wordt de gewenste temperatuur consequent behouden, zodat de temperatuur altijd binnen de vereiste toleranties blijft, zowel tijdens het zachte als het harde verhitten. Dankzij de gesloten regelingscyclus blijft de temperatuur precies zoals nodig, zodat elke lading dezelfde temperatuurprofielen heeft.
Waarom dit werkt bij het drogen en verhitten in DNS
De lamp kan rechtstreeks worden geïnstalleerd in de DNS-droogmodules en levert snel en efficiënt warmte, zonder dat er contact is met de wafer. De lamp kan worden gebruikt in omgevingen van klasse 1–100, waarbij er geen deeltjes worden geproduceerd en er weinig gas vrijkomt. Dit is precies wat nodig is om de productiecapaciteit te beschermen bij geavanceerde productieprocessen. De hoge herhaalbaarheid van de temperatuur zorgt voor stabiliteit in het proces, terwijl de snelle reactie op temperatuurveranderingen de cyclustijd verkort en de energieverbruik verminderd. Het resultaat is stabiele prestaties van de lijn, minder herwerkingen en betere planning van onderhoudsactiviteiten.
Installatie- en gebruiksinstructies
Plannen de elektrische leidingen al van tevoren, en controleer goed of de emitters rechtstreeks op de juiste plek in de DNS-kamer zijn geplaatst. Een verkeerde positionering kan de nauwkeurigheid van de temperatuur beïnvloeden. De lamp kan op volle kracht werken, maar de emitters hebben een beperkte levensduur. Plan regelmatig vervangingen in, zodat er geen onverwachte stilstand ontstaat. Voordat je overgaat op gebruik, controleer eerst of de versie van de DNS-apparatuur geschikt is voor de gewenste toepassing, en zorg ervoor dat het bereik van de temperatuurregeling overeenkomt met de vereisten van het proces.