Bij dunlaagsolaire cellen is er geen ruimte voor temperatuurschwankingen. Een verschil van 0,5°C tijdens het drogen van de fotoreceptor kan leiden...

Op de lithografielijn komt die 300 mm grote wafer net uit de DNS-reiniger. Hij wacht nu op het verhitten met fotoresist. De lijn kan geen afwijkingen...

Op de productielocatie staat de spoel- en droogapparaat precies tussen de reinigingsstap en de lithografiestap. Een temperatuurverschil van maar...

Op de lithografievloer open je een FOUP en de risico’s slaan toe voordat je ze ziet. Restvocht. Photoresist dat niet op dezelfde temperatuur is over...