Op de productielocatie staat de spoel- en droogapparaat precies tussen de reinigingsstap en de lithografiestap. Een temperatuurverschil van maar 0,5°C kan al zorgen voor ‘watermerken’ op de wafer – of erger nog: het kan leiden tot een herverhitting van het fotoresistmateriaal na de verzegeling. We hebben onze kwartsverwarmer speciaal ontworpen voor deze spoel- en droogapparaten; hier zijn thermische respons, reinheid en herhaalbaarheid cruciaal voor de kwaliteit van het eindproduct.
Wat technisch gezien belangrijk is
Het hart van de verwarmer is een kortegolfkwartsinfraroodemitter, gekozen vanwege de snelle reactietijd en nauwkeurige temperatuurregeling. We streven ernaar om een temperatuurstabiliteit van ±0,1°C te bereiken over de hele oppervlakte van de wafer. De temperatuur kan worden geregeld tussen 50°C en 250°C, en de reactietijd is minder dan 2 seconden. Dankzij de gesloten regelingsloop blijft de temperatuur constant, zodat delicate structuren niet beschadigen tijdens het etchen en CMP-proces. Het lichaam van de verwarmer is gemaakt van ultra-hoge zuiverheid kwarts, compatibel met zuiverruimten van klasse 1–100. De oppervlakte is zo ontworpen dat er zo min mogelijk deeltjes ontstaan. De verwarmer kan 24/7 draaien, zonder dat er temperatuurverschillen optreden die een recalibratie vereisen.
Waarom deze verwarmer geschikt is voor spoel- en droogapparaten
In een spoel- en droogapparaat is het nodig dat de hitte snel wordt toegepast en gelijkmatig wordt verdeeld – net genoeg om het spoelwater te verdrijven, zonder dat de structuur van de wafer beschadigt wordt of dat het fotoresistmateriaal onder druk komt te staan. Deze verwarmer zorgt ervoor dat de temperatuur constant blijft, zodat het proces keer op keer kan worden herhaald, vanaf de eerste tot de laatste stap. Hierdoor zijn de cyclustijden korter, is er minder afval door fouten tijdens het proces, en wordt er minder energie verbruikt dankzij de efficiënte infraroodtechnologie en de lage thermische massa.
Tips voor gebruik
Voor de installatie is het belangrijk om rekening te houden met de richting van de verwarmer en de benodigde ruimte. Het kwartslichaam is sterk, maar kan kapotgaan als het mechanisch wordt belast. Zorg ervoor dat de spanning en de verbindingen overeenkomen met de specificaties van het apparaat. Als u zich bevindt in een omgeving met veel elektromagnetische storingen, is het nodig om het apparaat goed te isoleren. Met correcte montage en zorgvuldige behandeling kan de verwarmer meer dan 5.000 uur blijven werken, met minder dan 5% degeneratie.