Dalam proses pengeringan wafer, pemanasan yang berlaku akibat perubahan suhu tidak akan ditunjukkan melalui lampu amaran. Sebaliknya, ia akan menyebabkan ralat pada lebar garisan sebanyak 0.3 μm, atau keretakan pada permukaan fotoresist, atau pembengkakan pada kemasan wafer sehingga menjejaskan keseluruhan proses penghasilan wafer tersebut. Dalam proses pembakaran fotoresist dan pengeringan wafer, lampu pemanas ini bukan sekadar sumber haba semata-mata; ia merupakan alat yang digunakan dalam proses pengeluaran. Jika prestasi lampu ini terjejas, maka kualiti produk dan masa operasi akan terganggu.
Apa yang penting di sebaliknya
Kami telah membina lampu pemanas TEL sebagai sistem inframerah gelombang pendek (SWIR) jenis halogen. Reka bentuknya termasuk penggunaan lapisan kuarsa dan reflektor yang membolehkan suhu dikawal dengan baik. Hasilnya, suhu di seluruh zon pembakaran dapat dikawal dalam lingkungan ±0.1°C, dan proses pembakaran berlaku dengan cepat agar masa yang diperlukan untuk menyelesaikan proses tersebut tetap efisien. Ketepatan suhu yang dihasilkan sangat tinggi, sehingga proses pembakaran fotoresist dapat dilakukan dalam batas suhu yang ditetapkan. Bahan-bahan yang digunakan juga sesuai untuk digunakan dalam persekitaran bilik bersih, sehingga penghasilan zarah-zarah berbahaya dapat dicegah. Dengan cara ini, jumlah produk yang perlu diperbaiki akan berkurangan, begitu juga dengan sisa bahan yang terbuang. Selain itu, kawalan kualiti produk juga menjadi lebih baik.
Di mana lampu ini berguna
Lampu ini sangat berguna dalam proses-proses yang memerlukan kawalan suhu yang tepat, seperti proses pembakaran fotoresist, pengeringan wafer setelah dicuci, dan proses pengerasan kemasan wafer. Dalam proses pembakaran fotoresist, lampu ini dapat mengawal suhu dengan baik, sehingga proses pembakaran tidak akan menyebabkan perubahan pada lebar garisan. Untuk proses pengeringan, haba yang dihasilkan adalah cepat dan seragam, sehingga proses penyejukan berlaku dengan cepat, tanpa risiko kontaminasi semula. Dalam proses pengerasan kemasan wafer, kawalan suhu yang tepat dapat mengelakkan masalah pembengkakan kemasan wafer,sehingga kelajuan pengeluaran dapat ditingkatkan tanpa mengorbankan kualiti produk. Lampu ini boleh beroperasi 24/7, dengan penyelenggaraan yang teratur, bukan secara kecemasan.
Butiran yang perlu diperhatikan
Lampu ini direka untuk digunakan dalam persekitaran bilik bersih kelas 1–100. Namun, ia memerlukan pemasangan yang teliti. Voltan, soket, dan sistem penyejukan perlu disesuaikan dengan tepat. Jika pemasangan atau aliran udara tidak betul, ia akan menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu panas, dan jangka hayat lampu akan berkurangan dengan cepat.
Harus ingat: Kuasa maksimum yang dihasilkan oleh lampu ini membolehkan proses pembakaran berlaku dengan cepat, tetapi ia memerlukan kawalan suhu yang ketat agar kualitas produk tetap terjaga. Gantian lampu perlu dilakukan secara berkala, bukan hanya ketika ada masalah mendadak.