Dalam proses pengeluaran semikonduktor, suhu bukan sekadar faktor yang perlu dipertimbangkan – ia merupakan unsur penting dalam proses tersebut. Perubahan suhu sebanyak 0.5°C semasa proses pembakaran fotoresist sudah cukup untuk mengubah dimensi kritikal komponen semikonduktor sebanyak beberapa nanometer. Dalam kilang pengeluaran berskala besar, perubahan suhu ini bukanlah sesuatu yang teoretikal sahaja; ia akan menyebabkan produk menjadi tidak boleh digunakan.
Kami telah mencipta alat pemanas khusus untuk proses karakterisasi peranti semikonduktor, agar tingkah laku termal dapat dikawal dengan tepat, terutamanya di kawasan yang memerlukan ketepatan yang sangat tinggi.
Apa yang penting dalam sistem ini
Kami menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek yang memberikan tindak balas yang cepat dan langsung kepada substrat, sehingga dapat mengurangkan kelewatan termal semasa proses pembakaran. Kestabilan suhu di seluruh permukaan wafer adalah antara ±0.1°C, manakala ketepatan pengulangan proses pula adalah antara ±0.05°C. Sistem ini dikendalikan secara tertutup, dengan penggunaan sensor yang telah dikalibrasikan agar sesuai dengan massa termal pembawa dan lapisan substrat.
Sistem ini direka untuk digunakan di bilik bersih kelas 1–100: zon panas tidak menghasilkan sebarang zarah, dan bahan-bahan yang digunakan direka untuk mengawal pelepasan gas. Stabiliti keluaran sistem ini dapat dicapai selama lebih dari 5,000 jam, dengan perubahan intensiti kurang dari 5%.
Mengapa sistem ini sesuai untuk kilang pengeluaran
Pemanas ini dirancang untuk menyelesaikan masalah termal yang berlaku semasa proses pembakaran fotoresist – sama ada proses pembakaran lembut atau keras. Kestabilan suhu memastikan hasil pengeluaran yang lebih baik, dengan pengedaran haba yang lebih merata di seluruh wafer. Ini seterusnya mengurangkan keperluan untuk memproses semula produk, serta meningkatkan konsistensi hasil pengeluaran.
Proses pemanasan yang cepat membolehkan proses pembakaran diselesaikan dengan cepat, tanpa perlu menunggu terlalu lama. Ini seterusnya membantu menjaga keseimbangan termal pada tahap yang tepat. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana tenaga digunakan secara efektif, bukan untuk memanaskan persekitaran sekeliling. Sistem ini direka untuk beroperasi 24/7, dengan jadual penyelenggaraan yang teratur, bukan sekadar untuk situasi kecemasan.
Apa yang perlu anda ketahui terlebih dahulu
Pemancar inframerah gelombang pendek sangat sensitif terhadap keadaan laluan cahaya. Refleksi dan penyerapan cahaya berbeza bergantung pada warna pembawa, lapisan di bahagian belakang wafer, serta geometri alat yang digunakan. Oleh itu, kami melakukan ujian penerimaan di tapak sebenar, menggunakan pembawa dan bahan yang digunakan dalam proses pengeluaran.
Proses integrasi sistem ini agak mudah, tetapi aspek perkaitan termal perlu diberi perhatian. Penyelarasan, kedudukan sensor, dan kalibrasi emisiviti sangat penting untuk memastikan prestasi sistem yang baik. Anda hanya perlu melakukan satu ujian kelayakan; selepas itu, proses pengeluaran dapat dilakukan secara berulang-ulang, tanpa perlu risau lagi.