Di bilik proses litografi tersebut, wafer berukuran 300 mm itu baru saja keluar dari alat pembersih DNS, dan kini menunggu proses pengeringan menggunakan bahan fotoresist. Sistem tersebut tidak dapat bertoleransi terhadap perubahan suhu sebanyak ±0.5 °C, dan bilik bersih juga tidak boleh membenarkan kewujudan zarah-zarah tambahan. Jika terdapat sedikit pun perubahan pada suhu, kawalan ketepatan CD akan terjejas, dan hasil pengeluaran pun akan menurun.
Ketepatan pemanasan inframerah: Ketepatan yang sangat tinggi, sehingga mencapai tahap sub-milimeter, serta kemampuan untuk mengulangi proses pengeringan dengan hasil yang konsisten. Lampu pengering wafer DNS menggunakan pelepasan gelombang inframerah pendek yang disesuaikan agar sesuai dengan cara bahan fotoresist menyerap haba. Ini memastikan suhu yang konsisten di seluruh permukaan wafer, serta membolehkan kawalan suhu yang tepat semasa proses pengeringan. Sistem kawalan tertutup membantu mengekalkan suhu pada tahap yang ditetapkan, supaya setiap batch hasil pengeluaran mempunyai ciri-ciri yang serupa.
Mengapa kaedah ini berkesan dalam proses pengeringan DNS: Lampu ini dapat memberikan haba yang cepat dan efektif tanpa perlu sentuhan fizikal. Ia beroperasi dalam persekitaran kelas 1–100, tanpa penghasilan zarah-zarah berbahaya dan dengan pengeluaran gas yang minimum. Ini merupakan syarat penting untuk melindungi kualiti pengeluaran pada node-node canggih. Ketepatan suhu yang tinggi membantu menstabilkan proses pengeringan, manakala tindak balas haba yang cepat pula membantu mengurangkan masa yang diperlukan untuk proses pengeringan serta mengurangkan penggunaan tenaga. Hasilnya adalah prestasi yang stabil, pengurangan keperluan untuk melakukan pembetulan, serta jadual penyelenggaraan yang lebih mudah dirancang.
Nota pemasangan dan operasi: Rancang laluan elektrik yang sesuai untuk digunakan di bilik bersih terlebih dahulu. Pastikan penyetempatan lampu berada pada posisi yang betul berbanding dengan tingkap bilik DNS; kesilapan penyetempatan akan merosakkan ketepatan suhu. Lampu ini boleh beroperasi pada kuasa penuh dengan lancar, namun umur penggunaannya mempunyai batasan. Jadualkan penggantian lampu secara berkala agar tidak berlaku gangguan operasi yang tidak dijangka. Sebelum memulakan proses pengeringan, pastikan versi alat DNS sesuai untuk digunakan, dan pastikan julat suhu yang ditetapkan sesuai dengan proses pengeringan yang dijalankan.