Di bilik pemprosesan wafer, alat pengering ini terletak tepat di antara proses pembersihan dan proses litografi. Perubahan suhu sebanyak 0.5°C sahaja pun boleh menyebabkan kesan “watermark” pada permukaan wafer. Lebih buruk lagi, ia boleh menyebabkan bahan fotorezist meleleh setelah proses pembakaran dilakukan. Kami telah membangunkan pemanas kuarsa khusus untuk zon pengering ini, di mana faktor seperti respons termal, kebersihan, dan ketepatan menjadi penentu kadar kejayaan proses pemprosesan wafer.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Komponen utama alat ini ialah pengeluhar sinar inframerah berfrekuensi rendah, yang membolehkan kawalan suhu yang tepat. Matlamat kami adalah untuk mencapai keseragaman suhu pada tahap wafer sebanyak ±0.1°C, dengan titik kawalan yang stabil antara 50°C hingga 250°C, serta masa tindak balas kurang dari 2 saat. Sistem kawalan tertutup memastikan suhu tetap stabil, sehingga struktur halus pada wafer tidak rosak semasa proses etching dan CMP. Badan alat ini diperbuat daripada kuarsa berkualiti tinggi, yang sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100. Permukaannya direka agar penghasilan zarah-zarah kecil dapat dikurangkan, dan alat ini boleh beroperasi 24/7 tanpa perlu dikalibrasi semula.
Mengapa ia sesuai untuk alat pengering
Dalam alat pengering, diperlukan haba yang dapat memberikan kesan cepat dan seragam, cukup untuk menghilangkan air yang melekat pada wafer, tanpa merosakkan corak pada wafer atau bahan fotorezist. Pemanas ini memastikan profil suhu tetap stabil, sehingga proses pemprosesan dapat diulang berulang kali, dari proses pembakaran ringan hingga pembakaran intensif. Dengan cara ini, masa proses dapat dipendekkan, jumlah sisa hasil pemprosesan dapat dikurangkan, dan penggunaan tenaga juga dapat dikurangkan berkat sistem penghantaran inframerah yang efisien serta jisim termal yang rendah.
Catatan lapangan
Proses pemasangan alat ini bergantung pada orientasi dan jarak antara komponen-komponennya. Kulit luar alat ini sangat kuat, tetapi ia mudah rosak jika terkena tekanan mekanikal. Pastikan voltan dan jenis penyambungnya sesuai dengan spesifikasi alat tersebut. Jika alat ini digunakan di kawasan dengan tahap EMI yang tinggi, pastikan adanya lapisan pelindung. Dengan pemasangan yang betul dan penanganan yang teliti, alat ini boleh beroperasi selama lebih dari 5,000 jam, dengan kadar degradasi kurang dari 5%.