Dalam fasiliti pembuatan cip ini, proses pemanasan bahan fotoresist bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan – ia merupakan faktor penting yang perlu dipertimbangkan. Perbezaan suhu sebanyak 2°C semasa proses pemanasan boleh menyebabkan perubahan pada dimensi yang kritikal, serta menghasilkan sisa bahan yang tidak berguna. Tiub pemanas jenis kuarsa inilah yang memastikan suhu tetap stabil dari satu syif ke syif yang lain.
Apa yang penting di sebaliknya
Kami mencipta tiub pemanas jenis kuarsa ini agar dapat berfungsi dengan baik dalam keadaan suhu yang ekstrem di dalam ketuhar pembuatan cip. Ia mempunyai respons yang cepat dan prestasi yang stabil, walaupun pintu ketuhar terus dibuka dan ditutup. Cahaya inframerah berfrekuensi rendah digunakan untuk menghantar haba ke tempat yang diperlukan, iaitu di kawasan pemprosesan. Inersia termal yang rendah bermakna proses pemanasan dapat dilakukan secara konsisten.
Keseragaman suhu pada setiap keping wafer adalah sekitar ±0.1°C, jadi setiap kumpulan wafer akan mendapat hasil yang sama. Badan kuarsa ini direka sedemikian rupa agar tidak menghasilkan sebarang zarah, sehingga memastikan persekitaran yang bersih sesuai dengan spesifikasi kelas 1–100. Di lapangan, unit ini dapat beroperasi selama lebih dari 5,000 jam dengan kapasiti kerja yang tinggi, sambil tetap mempertahankan ketepatan suhu yang tinggi.
Mengapa ini penting dalam proses litografi
Dalam proses litografi, proses pemanasan bahan fotoresist perlu dilakukan secara konsisten, sama ada pada pukul 2 pagi atau 2 petang. Tiub pemanas ini dapat menstabilkan suhu ketuhar dengan cepat, sekali gus mengurangkan masa pemulaan dan pemulihan suhu – tanpa mengorbankan ketepatan untuk kelajuan.
Ini menyumbang kepada pengeluaran lebih banyak kumpulan wafer setiap hari, pengurangan jumlah bahan yang perlu dibuang, dan penjimatan tenaga. Selain itu, tiub pemanas ini juga dapat beroperasi dalam persekitaran gas yang kering dan bersih, yang akan memanjangkan jangka hayatnya, terutamanya di fasiliti pembuatan cip yang mempunyai kelembapan yang tinggi.