वेफरों को सही तरीके से सूखाने हेतु आईआर रिफ्लेक्टरों का उपयोग
जब वेफरों को सूखाया जाता है, तो इसमें संतुलन बनाए रखना बहुत महत्वपूर्ण है। रासायनिक स्थिरता बनाए रखने हेतु पर्याप्त ऊष्मा आवश्यक है; लेकिन अगर ऊष्मा अत्यधिक हो जाए, तो सब्सट्रेट विकृत हो जाएगा। यह तो एक कठिन कार्य है।
इसे सही तरीके से करने हेतु हम इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं, एवं विशेष रिफ्लेक्टरों की मदद से उस ऊष्मा को ठीक वहीं भेजा जाता है, जहाँ उसकी आवश्यकता है। आजकल सभी “हरित कारखानों” एवं कार्बन-तटस्थता की बात कर रहे हैं… लेकिन वास्तव में यह सब एक ही बात पर निर्भर है – मशीन पर अत्यधिक ऊष्मा न डालना। यह तो ऊर्जा का दुरुपयोग है।
ऊष्मा वास्तव में कहाँ जाती है?
ऐसे लैंपों के बारे में सोचिए, जिनमें रिफ्लेक्टर न हो। ऐसे लैंप ऊष्मा को हर दिशा में फैलाते हैं… यानी 360 डिग्री में। इसका मतलब है कि आपकी आधी ऊर्जा तो लक्ष्य तक पहुँचने से पहले ही व्यर्थ हो जाती है।
इसीलिए हम उच्च-शुद्धता वाले एल्यूमीनियम या सोने से ढके रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं। ये रिफ्लेक्टर दर्पण की तरह काम करते हैं, एवं व्यर्थ होने वाली ऊष्मा को वापस वेफरों पर भेजते हैं। ऐसा करने से ऊष्मा की घनत्व बढ़ जाती है।
सबसे अच्छी बात यह है कि चूँकि ऊष्मा अधिक केंद्रित हो जाती है, इसलिए लैंप की वॉटेज कम की जा सकती है, फिर भी लक्ष्य तापमान हासिल किया जा सकता है। कम ऊर्जा = कम कार्बन उत्सर्जन… बहुत ही सरल।
सामग्री का चयन
अधिकांश मामलों में, एनोडाइज्ड एल्यूमीनियम ही पर्याप्त है। लेकिन यदि आप उच्च-स्तरीय सेमीकंडक्टर उत्पादन कर रहे हैं, तो सोने से ढके रिफ्लेक्टर ही उपयुक्त हैं। सोना इन्फ्रारेड विकिरण को बेहतर तरीके से संभालता है, एवं अत्यधिक गर्मी में भी ऑक्सीकृत नहीं होता। इसकी कीमत तो अधिक है, लेकिन इसकी परावर्तन क्षमता बेहतरीन है।
ध्यान देने योग्य बात यह है कि रिफ्लेक्टर की परवलयी आकृति लैंप के फोकल बिंदु के अनुरूप होनी चाहिए। यदि लैंप में कुछ मिलीमीटर की भी त्रुटि हो जाए, तो गर्म बिंदु बन जाएंगे… और ऐसे गर्म बिंदु पूरे वेफर सेट को नष्ट कर सकते हैं।
सब कुछ सही तरीके से चलाना
जब आप इन सब चीजों को जोड़ रहे हों, तो हवा के प्रवाह को नजरअंदाज न करें।
ये सिस्टम ऊष्मा को केंद्रित करने में बहुत ही प्रभावी हैं… लेकिन यदि लैंप के आसपास की हवा स्थिर रहे, तो लैंप अत्यधिक गर्म हो जाएगा। आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि लैंप के आसपास की हवा ठीक से बह सके।
और कृपया, इन्हें साफ रखें… धूल ही इनकी कार्यक्षमता को कम कर देती है… इससे लैंपों को अधिक गर्म होना पड़ता है… जिससे उनका जीवनकाल कम हो जाता है। नियमित रूप से सफाई करने से आपको लंबे समय में बहुत पैसा एवं परेशानी दोनों बचेंगे।