फैब फ्लोर पर, रिन्स-ड्रायर, क्लीनिंग एवं लिथोग्राफी प्रक्रियाओं के बीच ही स्थित होता है। मात्र 0.5°C का तापमान-परिवर्तन भी वेफर पर निशान छोड़ सकता है… या और भी खराब स्थिति में, हार्ड बेकिंग के बाद फोटोरेजिस्ट में परिवर्तन हो सकता है। हमने इस रिन्स-ड्रायर के लिए विशेष रूप से क्वार्ट्ज हीटर बनाया है; क्योंकि ऐसे क्षेत्रों में तापीय प्रतिक्रिया, स्वच्छता एवं पुनरावृत्ति की क्षमता ही उत्पादन-दर को निर्धारित करती है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
इस हीटर का मुख्य घटक छोटी तरंगदैर्घ्य वाला क्वार्ट्ज इन्फ्रारेड एमिटर है… जिससे तापमान पर तेज़ एवं सटीक नियंत्रण संभव होता है। हमारा लक्ष्य वेफर पर ±0.1°C की तापीय एकरूपता है… तथा 50°C से 250°C तक के स्थिर तापमान-स्तर हैं… एवं प्रतिक्रिया-समय 2 सेकंड से कम है। क्लोज्ड-लूप नियंत्रण के कारण तापीय स्थिति पूर्वानुमेय रहती है… इससे एटच एवं CMP प्रक्रियाओं के बाद वेफर पर कोई नुकसान नहीं होता। यह हीटर अत्यधिक शुद्धता वाले क्वार्ट्ज से बना है… जो क्लीनरूम क्लास 1–100 के अनुकूल है। इसकी सतह ऐसी है कि इससे कम कण उत्पन्न होते हैं… एवं यह 24/7 काम कर सकता है… बिना किसी त्रुटि के।
यह रिन्स-ड्रायर के लिए क्यों उपयुक्त है?
रिन्स-ड्रायर में ऐसी गर्मी की आवश्यकता होती है जो तेज़ी से उपलब्ध हो, एवं एकसमान रहे… ताकि रिन्सिंग वाटर तुरंत निकल जाए… एवं फोटोरेजिस्ट पर कोई नुकसान न हो। यह हीटर तापमान-प्रोफाइल को स्थिर रखता है… इससे प्रक्रिया बार-बार दोहराई जा सकती है… चाहे वह सॉफ्ट बेकिंग हो या हार्ड बेकिंग। इससे चक्र-समय कम हो जाता है… किनारों पर अवशेष एवं निशान कम हो जाते हैं… एवं कुशल इन्फ्रारेड तकनीक एवं कम तापीय ऊर्जा के कारण ऊर्जा-खपत भी कम हो जाती है।
उपयोग संबंधी जानकारी:
इस हीटर की स्थापना में इसकी दिशा एवं स्थान का ध्यान रखना आवश्यक है। क्वार्ट्ज से बना यह हीटर मजबूत है… लेकिन यदि इसे यांत्रिक रूप से झटका दिया जाए, तो यह टूट सकता है। वोल्टेज एवं कनेक्टर को अपने उपकरणों के मानकों के अनुरूप ही चुनें… एवं यदि आप उच्च EMI वाले वातावरण में हैं, तो इसकी सुरक्षा हेतु आवश्यक उपाय करें। उचित स्थापना एवं सावधानीपूर्वक हैंडलिंग से 5,000+ घंटों तक इसका उपयोग किया जा सकता है… एवं इसकी कार्यक्षमता में 5% से भी कम की कमी होगी।