थिन-फिल्म सौर प्रणालियों में, तापीय परिवर्तनों के लिए कोई जगह ही नहीं होती। फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान 0.5°C का परिवर्तन भी उपकरणों पर दबाव डाल सकता है, जिससे उपकरणों की दक्षता प्रभावित हो जाती है। ऐसी स्थिति में, ऐसा ड्रायर आवश्यक है जो तापमान को एक नियंत्रित प्रक्रिया के रूप में ही माने, न कि किसी अनियंत्रित चीज़ के रूप में।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
हमने ऐसा ड्रायर बनाया है जिसमें शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटर हैं; ये एमिटर, कार्बनिक पदार्थों एवं थिन-फिल्मों द्वारा ऊर्जा के अवशोषण को ध्यान में रखकर काम करते हैं। इससे त्वरित एवं समान तापन होता है, जिससे विलायक बाहर निकल जाता है, लेकिन पदार्थ जलता नहीं है। वेफर के सक्रिय क्षेत्र में तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है; इससे लिथोग्राफी के बाद भी उपकरणों के मापदंड बरकरार रहते हैं।
क्लीनरूम के लिए उपयुक्तता
यह ड्रायर, क्लास 1–100 मानकों के अनुरूप है; इसमें कोई गैस निकलती नहीं है, एवं इसकी तापीय व्यवस्था ऐसी है कि प्रक्रिया में कोई कण न घुस सके। नियंत्रण प्रणाली के कारण हर बार एक ही तापमान प्राप्त होता है।
यहाँ यह क्यों काम करता है?
थिन-फिल्म सौर प्रणालियों में तापीय व्यवस्था बहुत ही संवेदनशील होती है; इसलिए तापमान में कोई भी परिवर्तन उपकरणों पर बुरा प्रभाव डाल सकता है। यह ड्रायर, तापमान को नियंत्रित रखता है, ताकि प्रक्रिया सही तरीके से ही चल सके।
जानने योग्य बातें
इस ड्रायर का आकार छोटा है, लेकिन इसका तापीय भार बहुत ही अधिक है। इसे आपकी मौजूदा एक्सहॉस्ट एवं कूलिंग प्रणालियों से जोड़ना आवश्यक है; ऐसा करने से ही ±0.1°C का तापमान बना रहता है। इसका वॉर्म-अप समय कम है, एवं यह तुरंत ही स्थिर अवस्था में आ जाता है। इस ड्रायर को उपकरणों के इंटरफेस एवं सब्सट्रेट स्टैक के अनुरूप ही उपयोग में लाना आवश्यक है; ऐसा करने से ही प्रक्रिया सही तरीके से ही चलती है।