फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, बेकिंग तापमान में आधे डिग्री का अंतर भी क्रिटिकल आयामों को नैनोमीटर स्तर पर प्रभावित कर सकता है; इससे अच्छी गुणवत्ता वाले उत्पाद बेकार हो जाते हैं। उत्पादन दर को भरोसे पर नियंत्रित नहीं किया जा सकता; इसे तो प्रक्रिया की आवश्यकताओं से भी अधिक सख्ती से नियंत्रित करना ही पड़ता है। हमने इसी वास्तविकता को ध्यान में रखकर अपने तापमान सेंसरों को विकसित किया है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में इस्तेमाल होने वाले तापमान सीमा में ±0.1°C की स्थिरता आवश्यक है; क्योंकि लिथोग्राफी प्रक्रिया में ऐसी ही स्थिरता ही आवश्यक है। यह सेंसर क्लास 1–100 की स्वच्छता मानकों के अनुरूप है, एवं इसमें कोई कण उत्पन्न नहीं होता; इसलिये यह उत्पादन प्रक्रिया में आवश्यक स्वच्छता को बनाए रखने में मदद करता है। यह 24/7 काम करता है, ताकि कोई अप्रत्याशित रुकावट न हो। इसकी रिपोर्टिंग ऐसी होती है कि सांख्यिकीय प्रक्रिया नियंत्रण हेतु आवश्यक जानकारी प्राप्त हो सके।
वास्तविक परिस्थितियों में यह कैसे काम करता है?
“सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में, यह सेंसर तापमान को नियंत्रित करता है। घोल भी नियंत्रित तरीके से ही निकलता है, एवं रेजिस्ट की संरचना भी स्थिर रहती है। हॉट-प्लेट की समानता भी बनी रहती है; इससे किनारों पर होने वाली विविधताएँ कम हो जाती हैं, एवं पैटर्न की गुणवत्ता बेहतर हो जाती है।
इसका परिणाम यह है कि कम त्रुटियाँ होती हैं, कम रीवर्किंग होती है, एवं उपकरण हर शिफ्ट में स्थिर रहता है। स्थिर तापमान, कम कणों की संख्या, एवं निर्धारित समय पर काम करना ही इसके फायदे हैं।
क्या करना आवश्यक है?
इस सेंसर की स्थापना उपकरण की ऊष्मा-क्षमता एवं कैलिब्रेशन अंतराल के अनुरूप ही होनी चाहिए। यदि सेंसर की स्थिति सही न हो, तो यह आपको वास्तविक तापमान के बारे में सही जानकारी नहीं दे पाएगा।
सेटपॉइंट्स को वास्तविक वेफर तापमान के अनुरूप समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है; इसलिये नियमित रूप से कैलिब्रेशन करना आवश्यक है, ताकि ±0.1°C की स्थिरता बनी रहे। यदि ऐसा किया जाए, तो यह सेंसर पूरी बेकिंग प्रक्रिया हेतु एक विश्वसनीय संदर्भ बन जाएगा।