लिथोग्राफी प्रक्रिया में, बेकिंग तापमान में 0.5°C का भी अंतर, फोटोरेजिस्ट की संरचना को नैनोमीटर स्तर पर प्रभावित कर देता है… और यही छोटा-सा अंतर ही उत्पादन में कमी का कारण बन जाता है। हमने ऐसे क्षेत्रों में ट्विन-ट्यूब इन्फ्रारेड हीटिंग लैंपों का उपयोग किया, जहाँ तापीय स्थिरता बहुत ही महत्वपूर्ण है। ये लैंप, व्यापक तापीय उपकरणों एवं प्रक्रिया की आवश्यक सटीकता के बीच की कमी को दूर करते हैं… ताकि वेफर को ठीक वहीं ऊष्मा मिल सके, जहाँ उसे आवश्यकता है।
क्या महत्वपूर्ण है?
यह सिस्टम, क्वार्ट्ज आवरण वाले ट्विन-शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड ट्यूबों पर काम करता है… जिससे त्वरित प्रतिक्रिया एवं स्थिर ऊष्मा-उत्सर्जन संभव होता है। प्रतिक्रिया का समय एक सेकंड से भी कम है… इसलिए सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक प्रक्रियाओं के दौरान तापमान में कोई बदलाव नहीं होता। प्रकाशित क्षेत्र में वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है… एवं हर चक्र में तापमान में स्थिरता बनी रहती है। यह लैंप, क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में उपयोग हेतु डिज़ाइन किया गया है… ऐसी सामग्रियों/जोड़ों के कारण कणों का उत्पादन लगभग शून्य ही रहता है। 5,000+ घंटों तक भी इस लैंप का आउटपुट स्थिर ही रहता है… तापमान में 5% से भी कम की गिरावट ही होती है… इसलिए रखरखाव के बीच प्रक्रिया में कोई बदलाव नहीं होता।
फोटोरेजिस्ट प्रक्रिया में इसकी उपयोगिता
फोटोरेजिस्ट प्रक्रिया में, ऐसी ऊष्मा आवश्यक है, जो तेज़ी से आए, स्थिर रहे… एवं कोई अवशेष न छोड़े। ट्विन-ट्यूब डिज़ाइन के कारण ऊष्मा तेज़ी से पहुँचती है… इससे बेकिंग प्रक्रिया में कम समय लगता है… एवं फिल्म पर कोई दबाव नहीं पड़ता। इसका परिणाम है – बेहतर नियंत्रण, कम पुनर्कार्य, एवं वेफर पर अच्छी तरह से ऊष्मा वितरित होना। इसके अलावा, ऊर्जा भी बचती है… क्योंकि लैंप केवल आवश्यकता पड़ने पर ही गर्म होता है… एवं जल्दी ही ठंडा भी हो जाता है… इससे कोई अनावश्यक ऊर्जा व्यय नहीं होता।
स्थापना एवं संचालन हेतु आवश्यक बातें
स्थापना हेतु, विशेष एवं सुरक्षित विद्युत आपूर्ति आवश्यक है… साथ ही, लैंप को सही जगह पर ही लगाना आवश्यक है। यह लैंप, अधिकांश मानक लिथोग्राफी/कोटिंग/बेकिंग उपकरणों के साथ काम करता है… लेकिन इंटीग्रेशन हेतु उपकरणों की जाँच आवश्यक है… ताकि सेंसरों का सही उपयोग हो सके एवं सुरक्षा सुनिश्चित हो सके। कम आर्द्रता वाले वातावरण में ही इसका उपयोग करना बेहतर है… आर्द्र वातावरण में, क्वार्ट्ज आवरण पर नमी न जमे, इसके लिए वेंटिलेशन व्यवस्था की जाँच आवश्यक है।