RTP 히터 램프 교체 방법

라인에서 점점 어두워지는 RTP 램프는 생산 일정에 큰 영향을 미칩니다. 웨이퍼 건조 시 스퍼터 현상이 발생하고, 포토레지스트 베이크 온도가 변동하며, 패키징 큐어 사이클의 재현성이 떨어집니다. 계획에 없던 다운타임의 매분은 단순히 부품 수량에만 영향을 주는 것이 아...