X선 회절(XRD) 가열 램프

측정실에서는 XRD 판독값이 스테이지의 열적 안정성만큼 신뢰할 수 있다. 0.5°C의 온도 변동은 격자 상수 결과에 영향을 미치며, 이는 웨이퍼를 재작업으로 보내고 리소그래피 베이크 공정을 규격 밖으로 벗어나게 만드는 원인이 된다. 우리는 이러한 불확실성을 발생 초기...