반도체 제조 공장에서 IR 히터를 올바르게 설치하는 방법
반도체 제조 공장의 탄소 배출량을 줄이고 싶다면, 더 이상 구식의 저항식 오븐에 의존해서는 안 됩니다. 그러한 오븐들은 에너지를 엄청나게 소비합니다. 정밀한 적외선 히팅 시스템을 사용하는 것이 바람직합니다. 왜냐하면 이 방식은 전체 공간을 가열하는 대신 목표물만을 정확하게 가열할 수 있기 때문입니다.
하지만 한 가지 문제가 있습니다. 적외선 히터를 사용할 경우, 전선도 엄청난 열에 노출됩니다. 그래서 우리는 테플론(PTFE)으로 절연된 전선을 사용합니다.
왜 테플론을 사용해야 할까요?
일반적인 PVC나 실리콘 전선은 적절하지 않습니다. 적외선 램프에 너무 가까이 가면 금방 녹거나 파손됩니다. 반면 테플론은 다릅니다. 260°C라는 높은 온도에서도 견고하게 유지되며 형태를 유지합니다.
반도체 제조 공장에서는 공간이 매우 제한적입니다. 높은 온도 환경에서도 전선을 안전하게 관리해야 합니다. 테플론을 사용하면 전선을 더 가까이에 둘 수 있으며, 갑작스러운 단락이나 손상을 걱정할 필요가 없습니다.
알아두어야 할 단점들
적외선 램프를 사용하면 공장의 에너지 소비가 크게 줄어듭니다. 하지만 모든 열이 한 지점에 집중됩니다. 고출력의 적외선 시스템을 사용할 경우, 전선도 엄청난 열에 노출됩니다.
전선이 과도하게 가열되는 것을 막기 위해, 테플론 외피 아래에 은으로 도금된 구리 핵을 사용합니다. 이를 통해 전기 저항을 낮출 수 있습니다.
다만 주의해야 할 점이 있습니다. PTFE는 실리콘보다 더 딱딱하기 때문에 극심한 곡선 부분에 놓으면 손상될 수 있습니다. 전선을 너무 세게 구부리면 테플론 외피가 손상될 수 있습니다. 따라서 전선의 경로를 신중하게 계획해야 합니다.
“친환경” 공장의 중요성
대부분의 “친환경” 기술의 목표는 필요할 때만 에너지를 사용하는 것입니다. 적외선 시스템은 바로 이를 실현해줍니다. 웨이퍼만을 가열시키므로 전체 공간을 가열할 필요가 없습니다.
고온용 테플론 전선을 사용하면 전체 시스템의 수명이 길어집니다. 몇 주마다 전선을 교체할 필요가 없습니다. 교체 부품이 적어지고 에너지 낭비도 줄어들어, 공장의 운영 비용도 줄어듭니다.
전선을 올바르게 설치하면 열로 인한 고장을 방지할 수 있습니다. 이는 장비와 지구 모두에게 이익이 됩니다.