MEMS传感器晶圆干燥加热器

在MEMS晶圆干燥过程中，放弃热风干燥，转而使用红外线加热。 长期以来，人们一直采用向MEMS传感器晶圆上吹热风的方式来干燥它们。这是一种传统的方法，其原理是利用对流效应将热量传递到晶圆表面，从而让水分蒸发。 但这种方法效率极低。需要等待数分钟，才能让热量渗透到MEMS晶圆上的细微结构中。这无疑成...