FOUP 前开式统一罩 干燥机

在光刻车间 当你打开一个 FOUP 时，风险在你看到之前就已经袭来。残余的湿气。整批光刻胶的温度不均匀。软烘焙温度漂移仅 2°C，突然间你就得花上数小时来追踪线宽偏差。在高产量的晶圆厂，这种热变异不仅表现在生产线上——它会转化为废料和意外停机。 引擎盖下的重要性 我们围绕短波红外发射器构建了...