在光刻工艺中，哪怕温度出现0.2°C的微小变化，都可能影响光刻图形的精度，进而导致产品良率下降。涂胶/显影工序需要稳定的热量供应，这样才能确保晶圆在经过软烘烤和硬烘烤过程时，其温度始终保持在恒定状态。如果红外加热器出现故障，就会导致废品增加、需要重新加工，还会造成生产中断。
关键在于： 我们设计的这种涂胶/显影用红外加热器采用近红外光源，因此能量可以直接传递到光阻层中。这样就能实现亚秒级的快速升温效果，同时让整个烘烤区域的温度保持±0.1°C的均匀性。温度的重复性也非常好，因此每批产品的加热条件都保持一致。
此外，这种石英材质的加热器不会产生任何颗粒物，因此非常适合在1级到100级的洁净室中使用。其控制系统为闭环控制，配有经过校准的传感器，能够持续维持恒定的温度。
为什么适合用于生产流程： 这种加热器专为涂胶/显影工序而设计：它能够快速达到目标温度，并在整个烘烤过程中保持该温度，同时还能按需快速降温，从而不会影响生产效率。无论是软烘烤还是硬烘烤，其温度控制都非常精确，有助于减少边缘缺陷。
由于能量是按需供给的，因此不会浪费太多热量，从而降低了能耗。在实际生产中，这类加热器的使用寿命可达到5,000小时以上，且几乎不会出现性能下降的情况。这意味着不需要频繁更换部件或进行维护，从而降低了每片晶圆的制造成本。
需要注意的事项： 安装时必须确保光学对准准确，同时腔体也必须保持清洁且具有良好的反射性能。否则，就会出现局部过热或温度不均匀的情况。
虽然这种加热器可以用于标准的涂胶/显影设备，但仍然需要根据具体机器和工艺要求来确认相关的安装细节，如安装方式、开口大小以及控制接口等。在正式投入生产之前，最好先进行一次试运行，以确认各项参数是否正常，以及温度分布是否均匀。