
为什么在半导体制造厂中使用镀金红外灯
在处理半导体晶圆时,对热量的需求非常高。我们都听说过“绿色工厂”和碳中和的概念,但实际上,归根结底就是:避免能源浪费。 我们的目标是将热量精准地传递到需要加热的地方——即晶圆本身——而不让整个机器机体过热。
镀金层的妙处
普通的石英灯会将能量散射到各处,效率很低。为了解决这个问题,我们在石英表面涂上一层薄薄的黄金。 这层黄金就像一个过滤器:它将长波辐射反射回灯丝上,而让短波红外线顺利通过。 这样一来,能量就能被集中起来,不会白白浪费在加热空气或真空室上。只要不再与环境中的热量作斗争,能源成本自然就会降低。这才是减少工厂碳排放的最简单方法。
功率、速度与风险
我们设计的这些灯具有很高的功率密度。因为速度才是最重要的,所以我们需要以高功率来驱动它们。如果能够迅速产生热量,就可以缩短加工时间,同时避免晶圆变形。 不过,这种高强度的加热方式也会产生大量的局部热量。如果冷却系统无法有效应对,就会出现严重问题,比如连接器烧毁或固定支架变形。
安装与维护
我们设计这些灯时,充分考虑了便捷性。它们实际上可以直接替代现有的加热装置。灯的末端经过精确切割,因此可以轻松地安装在反射器中,无需额外处理。 不过,必须保持极高的清洁度。因为镀金层极为敏感,哪怕有一个指纹或一点点油渍,都可能形成热点。而热点则会导致灯管立即损坏。 因此,我们总是将它们装在无尘包装中运输。哪怕只有一粒灰尘,都可能毁掉整个灯管。