На етапі літографії обробка матеріалу EUV-резисту не допускає жодних теплових відхилень. Якщо температура під час процесу нагрівання буде на кілька градусів вищою, це призведе до відхилень у параметрах пластинки. У результаті знижується якість продукції – і це відбувається поступово, знову та знову. Елементи нагріву, розташовані під резистом, повинні забезпечувати стабільну температуру протягом всього процесу, без утворення частинок чи перерв у роботі.
Що є важливим у конструкції
Ми створюємо системи нагріву для EUV-резисту на основі контрольованих інфрачервоних джерел – короткохвильових та середньохвильових – у поєднанні з кварцовими елементами та галогеновими елементами, які забезпечують стабільну спектральну характеристику. Це дозволяє досягти температурної однорідності на поверхні резисту на рівні ±0,1°C, а також забезпечує стабільність параметрів нагрівання протягом усього процесу. Корпус пристрою придатний для використання у чистих приміщеннях класу 1–100; матеріали та елементи конструкції підібрані так, щоб під час роботи не утворювалося жодних частинок. Режими роботи пристрою відповідають стандартним значенням потужності та напруги; крім того, існують опції підключення, які дозволяють використовувати пристрій без необхідності зміни електричних схем.
Чому це ефективно для EUV-резисту
Шари EUV-резисту є дуже тонкими, тож теплові параметри мають бути максимально точними. Точність є важливішою за високу потужність. Ми підтримуємо температуру в тих значеннях, які передбачені технологічними специфікаціями, а не в тих, які можуть виникнути через теплові відхилення. Це дозволяє контролювати критичні розміри пластинки, зменшувати кількість дефектів та підтримувати стабільну якість продукції. Також важливо те, що пристрій може працювати 24/7 без перерв – без точок перегріву, без несподіваних несправностей, що можуть заважати роботі обладнання.
Що потрібно врахувати під час планування
Встановлення пристрою є простим на стандартних станціях, але пристрій повинен відповідати геометрії камери та шляху проходження інфрачервоного випромінювання. Потрібен короткий період налаштування для визначення оптимальних параметрів нагрівання та перевірки однорідності температури на поверхні пластинки. Тривалість служби пристрою є великою – більше 5 000 годин, але все одно необхідна профілактична калібрування для підтримки температури на рівні ±0,1°C. Це дозволяє забезпечити стабільну якість обробки пластинок протягом усього процесу.