На етапі сушіння після процедури CMP все ще існують проблеми, пов’язані з розташуванням крапель води та осадженням частинок на поверхні пластини. Часто причиною є нестабільний тепловий профіль під час сушіння. Ми створили спеціальний нагрівач для сушіння пластин післяCMP, щоб усунути цю проблему – а не додати ще більше складнощів.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо елементи короткохвильового інфрачервоного випромінювання, розташовані за кварцовим склом. Це дозволяє енергії потрапляти безпосередньо на поверхню пластини та швидко її нагрівати – без перегріву самої пластини. У активній зоні ми підтримуємо однорідність температури на рівні ±0,1°C. Однорідність зберігається завдяки каліброваній системі контролю, яка постійно порівнює задану температуру з фактичною в режимі реального часу. Пристрій підходить для чистих приміщень класу 1–100; матеріали та елементи герметизації обрані так, щоб у стабільному режимі не виникало жодних частинок.
Чому це ефективно під час сушіння післяCMP
Завдання просте: необхідно ефективно та швидко видалити залишки рідини з поверхні пластини, без утворення залишків. Чіткий тепловий контроль дозволяє зберігати однакові умови на поверхні пластини в кожній партії продукції – це допомагає уникнути дефектів. Така стабільність також сприяє стабільності параметрів фоторезисту під час обробки. Нагрівач може працювати 24/7 без перерв, що забезпечує стабільність процесу та простоту обслуговування.
Що потрібно знати заздалегідь
Встановлення пристрою полягає у правильному підборі геометрії приміщення та налаштуванні систем охолодження та відведення повітря. Ми надаємо креслення для налаштування, але все одно необхідно провести перевірку на місці. Потрібно також передбачити час для нагрівання до температури рівноваги перед початком обробки першої партії продукції. Це необхідно для забезпечення однорідності параметрів процесу. Після налаштування пристрій зберігає тепловий баланс та забезпечує стабільність процесу.