На виробничій лінії пристрій для промивання та сушіння розташовується безпосередньо між етапами очищення та літографії. Навіть зміна температури на 0,5°C може призвести до утворення „водяних слідів“ на пластинці – або ще гірше – до розплавлення фотополімеру після процедури сушіння. Ми створили наш кварцевий нагрівач спеціально для цієї зони, де важливі якість теплового контролю, чистота та можливість повторюваності процесу.
Що є важливим з технічної точки зору
Основою пристрою є кварцевий інфрачервоний випромінювач короткохвильового діапазону, який забезпечує швидке нагрівання та точний контроль температури. Ми прагнемо до того, щоб температура на всій поверхні пластинки була однаковою – ±0,1°C. Стабільні значення температури коливаються в межах від 50°C до 250°C, а час реакції пристрою становить менше 2 секунд. Замкнений контур керування забезпечує передбачуваний рівень температури, що дозволяє уникнути пошкодження делікатних структур після процедур етching та CMP. Корпус пристрою виготовлений з кварцу високої чистоти, сумісного з умовами чистих кімнат класу 1–100. Поверхня пристрою розроблена так, щоб мінімізувати утворення частинок; пристрій може працювати 24/7 без необхідності калібрування.
Чому цей пристрій підходить для промивання та сушіння
У пристрої для промивання та сушіння необхідна швидка та рівномірна подача тепла – достатньо, щоб видалити воду без пошкодження структур на пластинці чи фотополімеру. Цей нагрівач забезпечує стабільну температуру, тож процес може повторюватися знову і знову. Це дозволяє скоротити час виконання процедури, зменшити кількість відходів та економити енергію завдяки ефективному інфрачервоному випромінюванню та низькій тепловій щільності пристрою.
Примітки щодо встановлення
Встановлення пристрою полягає у правильному розташуванні та забезпеченні належного відстані між пристроєм та іншими елементами обладнання. Кварцевий корпус є міцним, але крихким при механічних пошкодженнях. Необхідно використовувати відповідну напругу та роз’єми, а також забезпечити захист від електромагнітних перешкод. При правильному монтажі та обережному поводженні пристрій може працювати понад 5 000 годин зі зниженням ефективності менше ніж на 5%.