На поверхні плати для літографії навіть незначна зміна температури у 0,2°C може призвести до зміни значень CD, проблем із процесом виробництва та зниження продуктивності. У пристроях для нанесення та розчинення фотоочищувача необхідна швидка передача тепла, його стабільне збереження протягом усього процесу обробки пластини. Якщо інфрачервоні нагрівачі не функціонують належним чином, це призводить до втрат продукції, необхідності переробки та перерв у роботі.
Що є важливим у конструкції Ці інфрачервоні нагрівачі розроблені на основі випромінювання у діапазоні близького інфрачервоного світла. Енергія потрапляє безпосередньо в фотоочищувач. Це забезпечує швидку реакцію на зміни температури та точність до ±0,1°C по всій поверхні пластини. Постійність температури також гарантована, тож кожна партія продукції отримує однакові умови обробки.
Кварцові емітери не створюють частинок, тож їх можна використовувати у чистих приміщеннях класу 1–100. Контроль температури здійснюється за допомогою каліброваних датчиків, а значення температури залишається стабільним протягом усього часу.
Чому цей нагрівач підходить для використання Цей нагрівач розроблений для швидкого досягнення потрібної температури, її стабільного підтримання протягом усього процесу обробки та швидкого охолодження. Це дозволяє зберегти стабільність параметрів обробки та зменшити проблеми, пов’язані з краями пластини.
Енергоспоживання знижується завдяки тому, що енергія надається за потребою, без значних втрат тепла. Надійність цих нагрівачів підтверджена на практиці – вони працюють понад 5 000 годин без значних втрат продуктивності. Це означає меншу кількість запчастин, менше часу на технічне обслуговування та нижчу вартість однієї пластини.
Що потрібно врахувати під час встановлення Під час встановлення необхідна точна оптична налаштування та чиста, відбивна камера. Якщо ці умови не дотримані, можуть виникнути проблеми з нерівномірним нагріванням.
Нагрівач підходить для використання зі стандартними пристроями для нанесення та розчинення фотоочищувача, але все одно необхідно перевірити деталі інтеграції – спосіб монтажу, розташування елементів керування тощо. Перед початком виробництва необхідно провести короткий тестовий запуск, щоб переконатися у правильності налаштувань та рівномірності нагрівання.