У процесі виробництва температура є не просто фактором, який можна ігнорувати – це ключовий елемент процесу. Зміна температури на 0,5°C під час процедури „мякого запікання“ фоторезисту достатня для зміни критичних розмірів на кілька нанометрів. У великомасштабних заводах така зміна не залишається лише теоретичною загрозою – вона призводить до втрати продукції.
Ми створили спеціальний нагрівач для характеристикування напівпровідникових пристроїв, щоб забезпечити передбачувану термічну поведінку в умовах складного процесу виробництва.
Що є важливим у цьому пристрої
Ми використовуємо випромінювачі короткохвильового інфрачервоного світла з швидкою реакцією на зміни температури, що дозволяє усунути затримку термічних процесів під час динамічних етапів обробки. На всій поверхні пластини однорідність температури становить ±0,1°C, а повторюваність результатів – ±0,05°C. Контроль здійснюється в закритому циклі, за допомогою kalibрованих датчиків, які відповідають тепловій масі носія та основи пластини.
Система розроблена для роботи в чистих приміщеннях класу 1–100: гаряча зона не створює жодних частинок, а матеріали обрані так, щоб контролювати вивільнення газів. Стабільність параметрів пристрою зберігається протягом понад 5,000 годин, при цьому зміна інтенсивності випромінювання становить менше 5%.
Чому цей пристрій підходить для використання на заводах
Цей нагрівач допомагає подолати термічні перешкоди під час обробки фоторезисту – під час процедур „мякого“ та „жорсткого“ запікання, а також під час висушування. Однорідність температури безпосередньо впливає на якість продукції. Це дозволяє отримати більш однорідну структуру на всій поверхні пластини, зменшити кількість продукції, яку потрібно переробити, та забезпечити більш стабільні термічні умови під час літографічних процесів.
Швидке досягнення потрібної температури скорочує час обробки, при цьому не відбувається перегрівання. Це дозволяє економити енергію, оскільки вона використовується саме там, де це необхідно – для нагріву самої пластини. Надійність пристрою забезпечується для 24/7 роботи, а інтервали технічного обслуговування відповідають плановому ремонту, а не екстреним ситуаціям.
Що потрібно знати заздалегідь
Випромінювачі короткохвильового інфрачервоного світла чутливі до умов оптичного шляху. Відбиття та поглинання світла залежать від кольору носія, наявності покриттів на зворотній стороні пластини та геометрії пристрою. Тож ми проводимо короткі тести для перевірки пристрою на вашому обладнанні.
Інтеграція пристрою є простою, але необхідно враховувати фактори термічного з’єднання під час встановлення. Правильне розташування датчиків та їх kalibрування впливають на ефективність роботи пристрою. Плануйте один тест для підтвердження якості пристрою; після цього процес буде проходити на основі повторюваності результатів, а не випадковостей.