Wafer’leri kurutmak için doğru kızılötesi yansıtıcıları seçmek
Wafer’leri kuruturken asıl önemli olan dengeyi sağlamaktır. Kimyasal olarak stabil kalabilmek için yeterli ısı gerekir; ancak bu ısı fazla olursa, substrat bozulur. Bu oldukça hassas bir durumdur.
Bunu doğru yapabilmek için, enerjiyi tam da ihtiyaç duyulan yere yönlendirmek amacıyla özel yansıtıcılar kullanılır. Günümüzde herkes “yeşil fabrikalar” ve karbon nötralitesinden bahsediyor. Ama aslında her şey tek bir şeye indirgeniyor: Makinenin gövdesine ısı göndermeyi bırakmak. Bu, enerji israfıdır.
Isının gerçekte nereye gittiği
Yansıtıcısı olmayan bir kurutma lambasını düşünün. Bu lamba enerjiyi her yöne, yani 360 dereceye yayar. Bu da gücünüzün yarısının hedefe ulaşmadan önce boşa harcanması anlamına gelir.
İşte bu yüzden yüksek saflıkta alüminyum veya altın kaplamalı yansıtıcılar kullanılır. Bunlar bir ayna gibi işlev görerek boşa harcanan enerjiyi tekrar wafer’e geri yansıtır. Böylece ısı yoğunluğu artar.
En iyi yanı ise, ısı daha odaklandığı için lambanın gücünü azaltarak hala istenen sıcaklığa ulaşılabilmesidir. Daha az enerji, daha düşük karbon ayak izi… Çok basit.
Malzemelerin seçimi
Çoğu standart iş için anodize edilmiş alüminyum yeterlidir. Ancak yüksek kaliteli yarı iletken üretimi yapıyorsanız, altın kaplamalı yansıtıcılar tercih edilmelidir. Altın, kızılötesi spektrumu daha iyi işler ve aşırı ısındığında oksitlenmez. Elbette maliyeti daha yüksektir, ancak yansıtma kapasitesi çok daha iyidir.
Dikkat edilmesi gereken bir diğer nokta ise yansıtıcının eğrisidir. Yansıtıcının parabolik eğrisinin lambanın odak noktasıyla tam olarak uyumlu olması gerekir. Eğer lamba sadece birkaç milimetre hareket ederse, sıcak noktalar oluşur. Sıcak noktalar ise korkunç bir durumdur; farkına varmadan tüm wafer’leri yok edebilirler.
Sistemin düzgün çalışmasını sağlama
Tüm bunları bağlarken hava akışını unutmayın. Bu sistemler ısıyı yoğunlaştırmada çok etkilidir. Lambanın etrafındaki hava durgun kalırsa, lamba aşırı ısınabilir. Dolayısıyla havanın rahatça dolaşmasını sağlamak gerekir.
Lütfen yansıtıcıları temiz tutun. Toz buradaki düşman olacaktır. Yansıtıcı üzerindeki kir tabakası verimliliği düşürür ve bu da lambaların daha yüksek sıcaklıkta çalışmasına neden olur. Bu da lambaların daha hızlı bozulmasına yol açar. Düzenli temizlik, uzun vadede size hem para hem de zaman tasarrufu sağlar.