Üretim alanında, durulama ve kurutma cihazı, temizleme ve litografi işlemleri arasında yer alır. Sadece 0,5°C’lik bir sıcaklık değişikliği bile yonga üzerinde izler bırakabilir; hatta daha kötüsü, sert pişirme işleminden sonra fotoresistin erimesine neden olabilir. Kuvars ısıtıcılarımızı, termal tepki hızı, temizlik ve tekrarlanabilirlik açısından en iyi sonuçları verecek şekilde bu durulama/kurutma bölgesi için özel olarak tasarladık.
Teknik açıdan önemli olanlar
Çekirdek kısmı, hızlı tepki süresi ve hassas kontrol için seçilmiş kısa dalga boyunda kuvars kızılötesi ışınlayıcıdır. Hedefimiz, taşıyıcı üzerinde ±0,1°C’lik bir sıcaklık düzeyi sağlamaktır. Ayarlanabilir sıcaklık aralığı 50°C ile 250°C arasındadır ve tepki süresi 2 saniyenin altındadır. Kapalı döngü kontrolü sayesinde sıcaklık değerleri öngörülebilir olur; böylece aşındırma ve CMP işlemlerinden sonra hassas yapılar zarar görmez. Gövde, temiz oda standartlarına uygun, ultra-yüksek saflıkta kuvars malzemeden yapılmıştır. Yüzeyi, parçacık oluşumunu azaltacak şekilde tasarlanmıştır ve 24/7 çalışabilir; bu da kalibrasyon işlemlerini gereksiz kılar.
Neden durulama/kurutma cihazları için uygundur?
Durulama/kurutma cihazlarında, hızlı bir şekilde etki eden ve sabit kalan bir ısıya ihtiyaç vardır. Bu ısı, durulama suyunu uzaklaştırmak için yeterli olmalı, ancak desenleri bozmamalı veya fotoresisti zorlamamalıdır. Bu ısıtıcı, sıcaklık profilini sabit tutarak, işlemin her seferinde tekrarlanmasını sağlar. Böylece daha kısa işlem süreleri, kenar bölgelerindeki atıkların azalması ve verimli kızılötesi bağlantı sayesinde daha düşük enerji tüketimi elde edilir.
Kullanım notları
Montaj işlemi, cihazın yerleştirileceği pozisyon ve çevresel koşullara bağlıdır. Kuvars kaplama dayanıklıdır, ancak mekanik şoklara maruz kaldığında kırılabilir. Gerilim ve konektörleri cihazın özelliklerine uygun şekilde seçin. Yüksek EMI ortamlarında ise koruma önlemleri alınmalıdır. Doğru montaj ve dikkatli kullanım sayesinde, %5’ten daha az bozulma ile 5.000 saatten fazla kullanım mümkündür.