Fab alanında
Wafer problama sırasında yaşanan bir sıcaklık kayması, sadece döngü süresini uzatmakla kalmaz. Bu, die’leri israf eder, verimi düşürür ve hattın düzgün çalışmasını sağlamak için gereken disiplinin bozulmasına neden olur. Wafer prob ısıtıcıları, parçacıklar üreterek ısınmamalı; çünkü her ekstra nokta, potansiyel bir köprü, kısa devre veya yüzeye çıkmayı bekleyen gizli bir arıza olabilir. Gerçekten önemli olan Wafer prob ısıtıcılarını, temiz odada uyumlu çalışan tekrarlanabilir sıcaklık kontrolü etrafında inşa ediyoruz. Tüm üretim boyunca sıcaklık bütçenizi disiplinli tutan ±0.1°C setpoint stabilitesi ve wafer seviyesinde uniformite bekleyin. Isıtma sistemi, hızlı tepki veren elemanlar ve sıkı alan kontrolü ile desteklenmektedir, böylece ısıtma hızları ve bekletme süreleri, her seferinde tekrarlanabilir kalır. Sıcak alan, düşük gaz salınımı ve sıfır parçacık dökülmesi için tasarlanmıştır, bu nedenle 1-100. sınıf ortamları sorunsuz bir şekilde koruyabilir. Prob kart arayüzleri, standart mekanik yüzeylere göre inşa edilmiştir ve termal izolasyon, etrafındaki her şeyi korumak için vardır. Bu, problamada neden önemlidir Problamada, sıcaklık doğruluğu elektriksel testin bütünlüğü ile doğrudan bağlantılıdır. Prob ısıtıcı cihaz parametrelerini sabit tuttuğunda, parametre kaymaları die’a işaret eder - termal kaymaya değil. Bu, daha az yeniden test, daha az yeniden işleme ve öngörülebilir bir bekleme süresi anlamına gelir. Temiz termal tasarım, kontaminasyon olaylarını azaltır, bu da israfı keser ve aletlerin duraksamadan çalışmaya devam etmesini sağlar. Enerji kullanımı, sıkı termal kapsama ve verimli eleman bağlantısı sayesinde optimize edilmiştir, bu nedenle daha az atık ısı ile daha serin çalışırsınız. Gerçekten dikkat etmeniz gereken şeyler Kurulum toleransları önemlidir. Prob ısıtıcı performansı, düz, temiz montaj yüzeyleri ve bağlantı elemanları üzerindeki doğru tork ile yaşar veya ölür - hizasızlık veya düzensiz basınç mikro-düzensizlik olarak ortaya çıkar. Metrologi kalitesinde tekrarlanabilirliğe ulaşmadan önce kısa bir ısınma ve stabilizasyon penceresi vardır. Alan değişikliklerini önlemek için başlangıçta voltaj ve konnektör uyumluluğunu kontrol edin ve rutin kalibrasyon aralıklarını belirleyin. Bu, ±0.1°C kontrolünün binlerce wafer boyunca sabit kalmasını sağlar.