Üretim alanında, pişirme sıcaklığında meydana gelen yarım derecelik bir değişiklik bile kritik boyutları nanometrelerce etkileyebilir ve iyi kalitedeki ürünleri atık haline getirebilir. Verimliliği umutla yönetemezsiniz; bunu, sürecin gerekliliklerinden daha sıkı bir şekilde termal kontrolü sağlayarak başarabilirsiniz. Biz de bu gerçeklik için özel sıcaklık sensörleri geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar
Fotorezist işlemlerinde kullanılan pişirme aralığında ±0,1°C’lik bir stabilite şarttır; çünkü litografinin toleransları bu aralık içindedir. Sensörler, 1–100 sınıfı temiz oda koşullarına uygun şekilde tasarlanmıştır ve hiçbir parçacık üretmez; böylece sizin sağlamak için çaba gösterdiğiniz temizliği bozmaz. 7/24 çalışır ve istatistiksel süreç kontrolü için gerekli olan tekrARLANABİLİRLİĞİ sağlar.
Neden gerçek ortamlarda işe yarar?
Yumuşak ve sert pişirme işlemlerinde sensör, termal dengeyi sağlar. Çözücüler beklenildiği gibi uzaklaşır ve rezist profilinin tutarlı kalması sağlanır. Sıcak plakanın homojenliği artar; bu da kenar bölgelerdeki değişkenlikleri azaltır ve desenin doğruluğunu artırır. Böylece daha az hata olur, daha az yeniden işlem gerekiyor ve ekipman her vardiyada aynı şekilde çalışır. Sayılar da bunu gösteriyor: stabil pişirme profilleri, daha az parçacık oluşumu ve planlandığı gibi çalışan ekipman.
Doğru yapılması gerekenler
Montaj, ekipmanın termal özellikleri ve kalibrasyon aralığına uygun olmalıdır. Eğer probun yerleştirilmesi yanlış yapılırsa, tespit etmeye çalıştığınız değişiklikler gizlenebilir. Ayar noktalarını gerçek wafer sıcaklığına uyumlu hale getirmek için kısa bir kurulum süresi bekleyin ve ±0,1°C’lik performansı korumak için düzenli kalibrasyonlar yapın. Doğru yapıldığında, sensör tüm pişirme modülünün güvendiği bir referans noktası haline gelir.