Waferleri Temizlerken Güvenliği Korumak
Waferleri kimyasal temizleme işlemleri sırasında ısıttığınızda, aslında ateşle oynuyorsunuz demektir… Ya da en azından patlamaya meyilli buharlarla uğraşıyorsunuz demektir. Standart kızılötesi lambalar bu tür koşullar için uygun değildir; bu tür durumlarda felaket olur.
Bunu sağlamak için ısıtma elemanlarını özel bir koruma katmanıyla sarıyoruz. Bu sayede kimyasallar ısı kaynağından uzak tutulur, ancak ısı yine de gereken yere ulaşabilir.
Sır, mühürde yatıyor
Kıvılcımlar konusunda hiç riske girmiyoruz. Kuvars tüplerimizi kimyasallara dayanıklı özel kılıflarla sarıyor ve elektrotların birleştiği yerlerde sızdırmaz mühürler kullanıyoruz. Neden mi? Çünkü eğer zararlı gazlar lambanın içine sızarsa büyük bir sorun ortaya çıkar. Sızdırmazlık sorunu sadece teknik bir arıza değil, aynı zamanda ciddi bir risktir. Bu yüzden, aşındırıcı kimyasallara karşı dayanıklı malzemeler kullanıyoruz.
Doğru ısıyı elde etmek
Bu ısıtıcılar kısa dalga boyundaki kızılötesi radyasyon kullanır. Bu sayede waferler, sıcaklık değişimlerinin yaşandığı “tehlikeli bölgede” çok daha kısa süre kalır. Waferlerin doğru sıcaklığa ulaşmasını sağlamak için wattajı dikkatlice ayarlıyoruz. Unutmayın: Güç kaynağınızın voltajının lambanın voltajına tam olarak uyumlu olduğundan emin olun. Aksi takdirde lambanız erken bozulur.
Montaj ve çalıştırma
Bunları mevcut temizleme modüllerinizin yerine geçecek şekilde tasarladık. Açıkçası, bunlar normal lambalardan biraz daha büyük. Bu, patlamaya karşı dayanıklılık için ödenen bedeldir. Montaja başlamadan önce, mekanın alanını dikkatlice kontrol edin ki her milimetre için mücadele etmek zorunda kalmayın.
Lambalar monte olduktan sonra, dış kılıfları yakından izleyin. Eğer bir çatlak görürseniz, hemen lambayı çıkarın. Ayrıca, temizleme makineleri oldukça titreştiği için güçlendirilmiş konektörler kullanıyoruz. Kabloların gevşeyip patlayıcı kimyasalların bulunduğu ortamda kıvılcım oluşmasını istemeyiz. Bu basit bir mantık.