ในกระบวนการพิมพ์รูปแบบลิทโธกราฟี การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิขณะอบเพียง 0.5°C เท่านั้น ก็สามารถทำให้รูปร่างของสารโฟโตเรซิสต์เปลี่ยนแปลงไปได้ถึงระดับนาโนเมตร และการเปลี่ยนแปลงเล็กๆ น้อยๆ นี้ก็ส่งผลให้เกิดการสูญเสียผลผลิตได้ เราจึงออกแบบหลอดไฟอินฟราเรดแบบสองหลอดขึ้นมา เพื่อใช้ในขั้นตอนที่อุณหภูมิมีความสำคัญมาก หลอดไฟนี้ช่วยเติมเต็มช่องว่างระหว่างเครื่องมือที่ให้ความร้อนแบบทั่วไปกับความแม่นยำที่กระบวนการผลิตต้องการ ทำให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำตรงจุดที่วีเวอร์ต้องการ
สิ่งที่สำคัญภายในระบบ
ระบบนี้ใช้หลอดอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นแบบสองหลอด โดยมีเปลือกหุ้มทำจากควอตซ์ เพื่อให้มีการตอบสนองที่รวดเร็วและมีความสม่ำเสมอในการปล่อยความร้อน การตอบสนองอยู่ในระดับไม่เกินหนึ่งวินาที ดังนั้นรูปร่างของอุณหภูมิจึงสามารถควบคุมได้อย่างแม่นยำในช่วงการอบ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิทั่วพื้นที่ที่ได้รับแสงอยู่ที่ ±0.1°C และความสม่ำเสมอของอุณหภูมิยังคงอยู่ในระดับเดียวกันในแต่ละรอบการทำงาน หัวหลอดไฟถูกออกแบบมาให้เหมาะกับห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยใช้วัสดุและจุดเชื่อมต่อที่ช่วยลดการเกิดอนุภาคให้เหลือน้อยที่สุด กำลังไฟที่ออกมายังคงสม่ำเสมอตลอดเวลากว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงน้อยกว่า 5% เท่านั้น ดังนั้นอุณหภูมิจึงไม่เปลี่ยนแปลงระหว่างช่วงการบำรุงรักษา
เหตุใดระบบนี้จึงเหมาะสำหรับการประมวลผลสารโฟโตเรซิสต์
ในกระบวนการประมวลผลสารโฟโตเรซิสต์ คุณต้องการความร้อนที่เข้ามาอย่างรวดเร็ว มีความสม่ำเสมอ และไม่ทิ้งสิ่งใดไว้เบื้องหลัง การออกแบบแบบสองหลอดช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว ทำให้สามารถลดช่วงเวลาการอบได้ โดยไม่ส่งผลเสียต่อสารโฟโตเรซิสต์ ผลลัพธ์ที่ได้คือการควบคุมขนาดสำคัญได้อย่างแม่นยำ ลดจำนวนวัสดุที่ต้องทำใหม่ และทำให้รูปร่างของอุณหภูมิสามารถคาดเดาได้อย่างแม่นยำทั่วพื้นที่ของวีเวอร์ นอกจากนี้ยังช่วยประหยัดพลังงาน เพราะหลอดไฟจะทำงานเมื่อมีความจำเป็นเท่านั้น และสามารถทำความเย็นได้อย่างรวดเร็ว ไม่มีการสูญเสียพลังงาน
สิ่งที่ต้องคำนึงถึงในการติดตั้งและการใช้งาน
การติดตั้งจำเป็นต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่เหมาะสม พร้อมกับการตรวจสอบระยะห่างการติดตั้งเพื่อให้หลอดไฟสามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ หลอดไฟนี้สามารถใช้งานได้กับเครื่องมือพิมพ์รูปแบบลิทโธกราฟีและเครื่องมือที่ใช้ในการเคลือบ/อบสารโฟโตเรซิสต์ทั่วไป แต่จำเป็นต้องตรวจสอบการเชื่อมต่อกับเครื่องมืออื่นๆ เพื่อให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างมีประสิทธิภาพ การใช้งานในสภาพแวดล้อมที่มีความชื้นต่ำจะช่วยให้ระบบมีความเสถียรมากขึ้น ในสภาพแวดล้อมที่มีความชื้นสูง จำเป็นต้องตรวจสอบระบบระบายอากาศเพื่อป้องกันไม่ให้เกิดน้ำค้างบนเปลือกหุ้มควอตซ์