บนสายการแสดงผลที่ยืดหยุ่น ความสามารถในการผลิตขึ้นอยู่กับการควบคุมอุณหภูมิ การอบแบบ Soft Bake ที่มีการเบี่ยงเบนแม้เพียง 2°C จะทำให้ความสม่ำเสมอของ CD ผิดเพี้ยนไป การอบแบบ Hard Bake ที่ทำงานร้อนหรือเย็นเกินไปจะทำให้โปรไฟล์ของตัวต้านทานไม่สามารถคาดเดาได้ และการถ่ายโอนการกัดจะมีลักษณะไม่เรียบร้อย โคมไฟแห้งไม่สามารถเป็นแหล่งความร้อนเพียงอย่างเดียวได้—มันต้องทำงานเหมือนเครื่องมือทางกระบวนการที่เหมาะสม
สิ่งสำคัญที่อยู่เบื้องหลัง: เราได้สร้างโคมไฟแห้งโดยใช้ NIR พร้อมด้วยเลนส์ควอทซ์เพื่อการให้ความร้อนที่รวดเร็วและไม่สัมผัส ในเขตที่มีการส่องสว่าง ความสม่ำเสมอในระดับชิ้นงานยังคงอยู่ที่ ±0.1°C ดังนั้นการอบแบบ Soft Bake และ Hard Bake ทุกครั้งจะได้รับงบประมาณความร้อนที่เท่าเทียมกัน ออกแบบมาสำหรับห้องสะอาด Class 1–100: มีการปล่อยก๊าซต่ำและไม่มีการสร้างอนุภาคในระหว่างการทำงานอย่างต่อเนื่อง โคมไฟสามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง 7 วันต่อสัปดาห์ด้วยผลลัพธ์ที่คาดการณ์ได้ และความสามารถในการทำซ้ำยังคงอยู่ในระดับที่สม่ำเสมอในแต่ละล็อต
ทำไมสิ่งนี้จึงได้ผลในโรงงานแสดงผลที่ยืดหยุ่น: สารตั้งต้นมีความบางและไวต่ออุณหภูมิ โคมไฟเพิ่มอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วในขณะที่ยังคงควบคุมได้อย่างแน่นหนา ดังนั้นจึงลดเวลาในการทำงานโดยไม่ทำให้ระบบเครียด โปรไฟล์ของฟิล์มภาพยังคงมีเสถียรภาพ ซึ่งช่วยให้การซ้อนทับอยู่ในมาตรฐานและการควบคุมขนาดการกัดสำคัญมีความสม่ำเสมอ การใช้พลังงานลดลงเนื่องจากโคมไฟให้ความร้อนเฉพาะพื้นที่เป้าหมาย และล็อตที่ต้องทำใหม่มีจำนวนน้อยลง หมายถึงเศษวัสดุที่น้อยลง
นี่คือสิ่งที่ต้องจำ โคมไฟต้องการแหล่งจ่ายไฟที่สะอาดและมีเสถียรภาพและการจัดการอุณหภูมิที่เหมาะสมที่จุดรวม การติดตั้งทำงานได้ดีกับอุปกรณ์ลิธิโอกราฟีและการเคลือบส่วนใหญ่ แต่คุณต้องยืนยันการเชื่อมต่อการติดตั้งและสัญญาณควบคุมในระหว่างการติดตั้ง วางแผนการทำงานตรวจสอบสั้น ๆ เพื่อยืนยันสูตรการอบแบบ Soft Bake และ Hard Bake จากนั้นตรวจสอบหน้าต่างกระบวนการก่อนที่คุณจะเริ่มการผลิตจำนวนมาก