ในโรงงานผลิตชิป การอบฟอโตรีสิสต์ไม่ใช่เรื่องที่สามารถปรับเปลี่ยนได้ตามใจชอบ เพราะมันเกี่ยวข้องกับขีดจำกัดทางความร้อนที่กำหนดไว้ การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 2°C ก็อาจส่งผลให้ขนาดของชิปเปลี่ยนไป หรือทำให้เกิดคราบสกปรก และทำให้ชิปจำนวนมากกลายเป็นของเสียได้ ท่อไฟฟ้าที่ทำจากควอตซ์นี่แหละที่ช่วยให้อุณหภูมิคงที่ตลอดกระบวนการอบ
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราออกแบบท่อไฟฟ้าที่ทำจากควอตซ์มาเพื่อให้สามารถทนต่อสภาพอุณหภูมิสูงในเตาอบได้ โดยมีความสามารถในการตอบสนองที่รวดเร็ว และมีความเสถียรในการให้ความร้อน แม้ว่าประตูเตาอบจะเปิด-ปิดบ่อยก็ตาม แสงอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นจะช่วยส่งความร้อนไปยังบริเวณที่ต้องการได้อย่างแม่นยำ การมีความเฉื่อยทางความร้อนที่น้อยลง ก็หมายถึงการอบที่มีความแม่นยำมากขึ้น
ในแต่ละช่วงความยาวของท่อไฟฟ้า ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิจะอยู่ที่ ±0.1°C ดังนั้นแต่ละชุดชิปจะมีลักษณะเดียวกัน ตัวท่อไฟฟ้าที่ทำจากควอตซ์ถูกออกแบบมาให้ไม่มีอนุภาคใดๆ เกิดขึ้น ทำให้สภาพแวดล้อมภายในเตาอบอยู่ในเกณฑ์ Cleanroom Class 1–100 นอกจากนี้ ท่อไฟฟ้าเหล่านี้ยังสามารถทำงานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยยังคงมีความแม่นยำในการให้ความร้อนได้เหมือนเดิม
เหตุผลที่สำคัญในการใช้ในกระบวนการลิโธกราฟี ในกระบวนการลิโธกราฟี การอบฟอโตรีสิสต์จะต้องมีความสม่ำเสมอ ไม่ว่าจะเป็นเวลา 2 โมงเช้าหรือ 2 โมงบ่ายก็ตาม ท่อไฟฟ้าเหล่านี้จะช่วยให้อุณหภูมิในเตาอบคงที่ได้อย่างรวดเร็ว ทำให้ลดเวลาในการอุ่นเครื่องและเวลาในการฟื้นตัวของเตาอบ โดยไม่ส่งผลต่อความแม่นยำของการอบ
สิ่งนี้หมายถึงการสามารถผลิตชิปได้มากขึ้นต่อวัน ลดจำนวนชิปที่ต้องทำใหม่ และลดของเสียลง นอกจากนี้ยังช่วยประหยัดพลังงาน เพราะท่อไฟฟ้าสามารถสร้างอุณหภูมิที่ต้องการได้อย่างรวดเร็ว และรักษาอุณหภูมินั้นไว้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ เมื่อการอบฟอโตรีสิสต์มีความสม่ำเสมอในทุกชิ้น ทุกชุด และทุกเครื่องมือ ก็จะทำให้กระบวนการผลิตมีประสิทธิภาพมากขึ้น
รายละเอียดทางปฏิบัติ การติดตั้งท่อไฟฟ้านั้นทำได้ง่าย แต่ต้องมั่นใจว่ามีการเชื่อมต่อที่เหมาะสมกับเตาอบ โดยต้องตรวจสอบระยะห่างของตัวยึด ชนิดของบล็อกขั้วไฟฟ้า และชนิดของเทอร์โมคัปเปิลและขีดจำกัด PID ของตัวควบคุมด้วย
ควรปฏิบัติกับท่อไฟฟ้าที่ทำจากควอตซ์เหมือนกับชิ้นส่วนที่มีความละเอียดสูง โดยไม่ให้มีการสัมผัสใดๆ และต้องรักษาความสะอาดของท่อไฟฟ้าไว้ด้วย นอกจากนี้ยังต้องคำนึงถึงการขยายตัวทางความร้อนและทิศทางของกระแสอากาศ เพื่อไม่ให้เกิดจุดร้อนขึ้นมา การใช้งานในสภาพแวดล้อมที่มีอากาศแห้งและมีการกรองอากาศ จะช่วยยืดอายุการใช้งานของท่อไฟฟ้าได้ โดยเฉพาะในโรงงานผลิตชิปที่มีความชื้นสูง