ในกระบวนการผลิตแผ่นฟิล์มป้องกัน EUV นั้น ความคลาดเคลื่อนทางอุณหภูมิถือเป็นสิ่งที่ไม่สามารถยอมรับได้เลย หากอุณหภูมิในขั้นตอนการอบสูงเกินไปเพียงเล็กน้อย ก็อาจส่งผลให้เกิดความคลาดเคลื่อนในการอบแผ่นวีเซอร์ได้ ซึ่งจะส่งผลให้ผลผลิตลดลงอย่างเงียบๆ และเกิดขึ้นซ้ำๆ ในแต่ละช่วงการผลิต ดังนั้น อุปกรณ์ทำความร้อนที่อยู่ใต้แผ่นฟิล์มป้องกันจึงต้องสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ไม่ว่าจะเป็นในแต่ละช่วงการผลิตหรือแต่ละชุดผลิตภัณฑ์ โดยไม่ก่อให้เกิดเศษฝุ่นหรือทำให้เกิดการหยุดทำงาน
สิ่งที่สำคัญในการออกแบบอุปกรณ์ทำความร้อน
เราออกแบบอุปกรณ์ทำความร้อนสำหรับแผ่นฟิล์มป้องกัน EUV โดยใช้แหล่งกำเนิดแสงอินฟราเรดที่มีความถี่สั้นและกลาง ร่วมกับกระจกควอตซ์และองค์ประกอบฮาโลเจนที่ช่วยให้ได้สเปกตรัมแสงที่มีความเสถียร สิ่งนี้ช่วยให้อุณหภูมิบนพื้นผิวแผ่นวีเซอร์มีความสม่ำเสมอภายในช่วง ±0.1°C และช่วยให้ขั้นตอนการอบมีความสม่ำเสมออยู่เสมอ นอกจากนี้ อุปกรณ์นี้ยังสามารถใช้งานในห้องที่มีมาตรฐาน Class 1–100 ได้ โดยใช้วัสดุและวิธีการผลิตที่ช่วยให้ไม่มีเศษฝุ่นเกิดขึ้นระหว่างการใช้งาน อุปกรณ์นี้ยังมีกำลังไฟฟ้าและแรงดันไฟฟ้าที่เหมาะสม และมีตัวเชื่อมต่อที่เหมาะสมกับระบบการอบที่มีอยู่ เพื่อให้สามารถเปลี่ยนอุปกรณ์ได้โดยไม่ต้องดัดแปลงระบบไฟฟ้า
เหตุผลที่อุปกรณ์นี้เหมาะสำหรับการใช้งานกับแผ่นฟิล์มป้องกัน EUV
แผ่นฟิล์มป้องกัน EUV มีความบางมาก ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีการควบคุมอุณหภูมิอย่างแม่นยำ การควบคุมอุณหภูมิให้อยู่ในช่วงที่กำหนดไว้จะช่วยให้มีความสม่ำเสมอในการอบมากขึ้น และช่วยลดข้อบกพร่องต่างๆ ที่เกิดขึ้นระหว่างการอบ นอกจากนี้ อุปกรณ์นี้ยังสามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมงโดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่ได้ตั้งใจ ไม่มีจุดที่มีอุณหภูมิสูงเกินไป ไม่มีการหยุดทำงานเนื่องจากปัญหาอื่นๆ และไม่มีความจำเป็นต้องมีการบำรุงรักษาอย่างกะทันหัน
สิ่งที่คุณต้องพิจารณาเมื่อวางแผนการใช้งาน
การติดตั้งอุปกรณ์นี้เป็นเรื่องง่าย แต่อุปกรณ์นี้จำเป็นต้องเข้ากันได้กับรูปร่างของห้องทดลองและเส้นทางการส่งแสงอินฟราเรด คุณจำเป็นต้องมีเวลาสักหน่อยเพื่อปรับแต่งอุปกรณ์ให้เหมาะสม และตรวจสอบความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ อายุการใช้งานของอุปกรณ์นี้ค่อนข้างยาวนาน โดยปกติจะอยู่ที่ 5,000 ชั่วโมงขึ้นไป แต่ก็ยังจำเป็นต้องมีการปรับแต่งอุปกรณ์เพื่อให้อุณหภูมิมีความสม่ำเสมออยู่เสมอ การปรับแต่งนี้จะช่วยให้การอบมีความสม่ำเสมอในแต่ละช่วงการผลิต