ในห้องปฏิบัติการผลิตชิป อุปกรณ์สำหรับล้างและอบแห้งจะอยู่ตรงกลางระหว่างขั้นตอนการทำความสะอาดกับขั้นตอนการพิมพ์ลวดลายบนชิป แม้ว่าอุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลงเพียง 0.5°C เท่านั้น ก็อาจทำให้เกิดรอยบนชิปได้ หรือในกรณีที่เลวร้ายกว่านั้น อาจทำให้สารโฟโตรีซิสต์ละลายหลังจากการอบแห้งได้ เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบควอตซ์มาโดยเฉพาะสำหรับใช้ในบริเวณนี้ เพื่อให้มั่นใจได้ว่าอุณหภูมิจะคงที่ และมีความแม่นยำสูง
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
ส่วนประกอบหลักคือเครื่องกำเนิดคลื่นอินฟราเรดแบบควอตซ์ ซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วและแม่นยำ เรามุ่งเน้นให้อุณหภูมิบนชิปมีความสม่ำเสมอภายในช่วง ±0.1°C โดยมีจุดควบคุมอุณหภูมิที่สามารถปรับได้ตั้งแต่ 50°C ถึง 250°C และสามารถตอบสนองได้ภายใน 2 วินาที การควบคุมแบบลูปปิดช่วยให้อุณหภูมิคงที่ ซึ่งจะช่วยป้องกันไม่ให้โครงสร้างที่เปราะบางเสียหายหลังจากการขัดและการอบแห้ง ตัวเครื่องทำจากควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งเหมาะสำหรับใช้ในห้องปฏิบัติการที่มีมาตรฐานความสะอาดระดับ 1–100 พื้นผิวของเครื่องถูกออกแบบมาเพื่อลดการเกิดอนุภาคต่างๆ และสามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมงโดยไม่มีการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิที่อาจทำให้ต้องมีการปรับค่าอีกครั้ง
เหตุผลที่เหมาะสำหรับการใช้ในอุปกรณ์ล้างและอบแห้ง
ในอุปกรณ์ล้างและอบแห้ง จำเป็นต้องมีความร้อนที่สามารถส่งผลได้อย่างรวดเร็วและมีความสม่ำเสมอ เพื่อให้สามารถขจัดน้ำออกจากชิปได้โดยไม่ทำให้รูปร่างของชิปเสียหายหรือทำให้สารโฟโตรีซิสต์เสียหาย เครื่องทำความร้อนนี้ช่วยให้อุณหภูมิคงที่ ซึ่งจะช่วยให้กระบวนการผลิตสามารถทำซ้ำได้หลายครั้ง ตั้งแต่ขั้นตอนการอบแห้งจนถึงขั้นตอนอื่นๆ ด้วยวิธีนี้ จะช่วยให้มีเวลาในการผลิตที่สั้นลง ลดขยะที่เกิดจากการอบแห้ง และลดการใช้พลังงานได้ เนื่องจากมีการใช้คลื่นอินฟราเรดที่มีประสิทธิภาพสูง และมีมวลความร้อนต่ำ
หมายเหตุเกี่ยวกับการติดตั้ง
การติดตั้งเครื่องนี้ขึ้นอยู่กับการจัดวางตำแหน่งและระยะห่างระหว่างอุปกรณ์ต่างๆ ตัวเครื่องทำจากควอตซ์ที่มีความแข็งแรง แต่ก็อาจเสียหายได้หากมีแรงกระแทกมากเกินไป ควรเลือกแรงดันไฟฟ้าและอุปกรณ์เชื่อมต่อให้เหมาะสมกับอุปกรณ์ของคุณ และควรมีการป้องกันคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้าหากอยู่ในบริเวณที่มีคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้าสูง หากมีการติดตั้งและการดูแลที่เหมาะสม เครื่องนี้สามารถใช้งานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการเสื่อมสภาพน้อยกว่า 5%