ในขั้นตอนการทำความสะอาดหลังการ CMP นั้น รอยน้ำและฝุ่นที่เกิดขึ้นยังคงเป็นสาเหตุที่ทำให้ประสิทธิภาพการผลิตลดลง โดยสาเหตุส่วนใหญ่มักเกิดจากความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิระหว่างกระบวนการอบแห้ง เราจึงออกแบบเครื่องอบแห้งวงจรหลังการ CMP ขึ้นมาเพื่อขจัดความไม่สม่ำเสมอดังกล่าวออกไป แทนที่จะเพิ่มความไม่สม่ำเสมอเข้ามา
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เราใช้อุปกรณ์ความร้อนชนิดอินฟราเรดความถี่สั้น ซึ่งติดตั้งอยู่ด้านหลังหน้าต่างควอตซ์ เพื่อให้พลังงานไปกระทบกับวงจรโดยตรงและอย่างรวดเร็ว โดยไม่ให้พลังงานไปกระทบกับส่วนอื่นของวงจร ในบริเวณที่มีการอบแห้ง เราสามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ที่ ±0.1°C ได้ และความสามารถในการทำซ้ำก็ยังคงสม่ำเสมอ เนื่องจากมีระบบควบคุมแบบลูปปิดที่สามารถติดตามอุณหภูมิจริงได้ตลอดเวลา เครื่องนี้เหมาะสำหรับห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดระดับ 1–100 และวัสดุและอุปกรณ์ต่างๆ ก็ถูกเลือกมาเพื่อให้ไม่มีฝุ่นเกิดขึ้นเลยเมื่ออยู่ในสภาวะสมดุล
ทำไมเครื่องนี้ถึงได้ผลดีในการอบแห้งหลังการ CMP
หน้าที่ของเครื่องนี้ก็คือการกำจัดฟิล์มที่เกาะอยู่บนวงจรออกอย่างสะอาดและรวดเร็ว โดยไม่มีสิ่งตกค้าง การควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวดช่วยให้ความตึงผิวของวงจรมีค่าคงที่ในทุกๆ ชุด ซึ่งช่วยลดข้อบกพร่องต่างๆ ได้ ความสม่ำเสมอนี้ยังส่งผลดีต่อกระบวนการผลิตในขั้นตอนถัดไปอีกด้วย เพราะอุณหภูมิจะคงที่ ทำให้ไม่มีการเปลี่ยนแปลงของขนาดหรือความขรุขระของขอบเส้นต่างๆ นอกจากนี้ เครื่องนี้ยังสามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด ซึ่งช่วยให้กระบวนการผลิตมีความต่อเนื่องและสามารถคาดการณ์การบำรุงรักษาได้
สิ่งที่ควรรู้ก่อนการติดตั้ง
การติดตั้งเครื่องนี้ต้องคำนึงถึงรูปร่างของห้องทดลอง รวมถึงการเชื่อมต่อระบบทำความเย็นและระบบระบายอากาศด้วย เรามีแบบแปลนการเชื่อมต่อมาให้ แต่คุณยังต้องตรวจสอบการติดตั้งด้วยตัวเองอีกครั้ง ควรมีเวลาในการอุ่นเครื่องสักหน่อยก่อนเริ่มใช้งานครั้งแรก เพื่อให้เครื่องอยู่ในสภาวะสมดุล นี่คือสิ่งที่ต้องแลกมาเพื่อให้ได้ความสม่ำเสมอในการใช้งาน เมื่อเครื่องอยู่ในสภาวะสมดุลแล้ว ก็จะสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างมีประสิทธิภาพ และไม่มีผลกระทบต่อกระบวนการผลิต